华星电子集团有限公司红外分公司，陕西 咸阳 712099
近红外滤光片和中红外带通滤光片在航天、气象和遥感等领域都有重要的应用。红外滤光片是让红外光透过而使其他波长光截止的滤光片，它的主要指标是峰值透过率。带通滤光片的重要指标是峰值透过率和通带半宽度。光学薄膜的膜系结构和具体设计对这些指标起决定性作用。本文主要介绍这两种滤光片的几例实际运用。
透光材料 红外滤光片 峰值透过率 通带半宽度 实际应用 transparent material infrared filter peak transmittance passband half width practical application
1 昆明物理研究所, 云南 昆明 650223
2 长春理工大学 理学院, 吉林 长春130022
窄带滤光片设计中的一些参数, 会对其性能产生影响。为了揭示它们之间的变化关系, 在光学薄膜设计软件Essential Macleod中进行了模拟实验。主要针对窄带膜系中的高低折射率之差, 干涉级次, 反射层层数和腔数对其通带半宽度、矩形度和陡度的影响进行了分析, 并得到了它们的影响规律。对于进行窄带滤光片的设计有一定的指导作用。
光学薄膜 窄带滤光片 通带半宽度 矩形度 陡度 optical thin film narrow band-pass filter half bandwidth rectangularity steepness
1 西安应用光学研究所，陕西 西安 710065
2 驻西安北方光电集团军事代表室，陕西 西安 710065
中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用，峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标，主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计。论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的方法。详细介绍了镀膜材料的选择以及这种方法的设计理论，给出了膜系结构，运用离子辅助沉积工艺在ZZSX-1100镀膜机上制备出了这种滤光片，测试结果表明：所制备的滤光片峰值透过率达到87%以上，通带半宽度为70 nm，光谱性能稳定，膜层致密，附着力好，膜系结构简单，易于实现。
中红外带通滤光片 薄膜 离子辅助沉积 通带半宽度 峰值透过率 mid-infrared bandpass filter thin films ion beam assisted deposition(IBAD) full width at half maximum (FWHM) peak transmission
1 同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 合肥国家同步辐射实验室, 合肥 230029
采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6 nm 的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7 nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217 nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确。在此基础上制备了121.6 nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74 nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12 nm。可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析。
薄膜光学 窄带滤光片 峰值透射率 通带半宽度 制备
