1 长春理工大学光电工程学院，吉林 长春 130022
2 长春理工大学中山研究院，广东 中山 528437
3 中山吉联光电科技有限公司，广东 中山 528437
为抑制非相干光产生的干扰，提高紫外单色仪的分辨率，本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料，在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法，解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题；并对实验结果进行反演分析，通过优化监控方法提高了膜厚控制精度。制备的深紫外高陡度滤光膜在232~400 nm平均透过率为97.67%，在115~228 nm平均透过率为0.61%，过渡区陡度为3.6 nm，满足紫外单色仪的使用需求。
光学薄膜 紫外单色仪 深紫外滤光膜 高陡度 薄膜应力
1 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院，合肥 230009
2 合肥工业大学 特种显示技术国家工程实验室 现代显示技术省部共建国家重点实验室 光电技术研究院，合肥 230009
3 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，合肥 230009
针对浮雕光栅实际加工的光栅形貌与理论设计形貌存在差异的情况，提出从傅里叶级数的角度去分析光栅结构，探讨光栅傅里叶级数展开式中各空间频率分量对其结构和衍射效率的影响，试图在保证高衍射效率的同时，降低光栅的制备难度。对常见的周期性浮雕光栅进行傅里叶级数展开，减少高频分量，代入仿真软件建模并计算其衍射效率。仿真结果表明：对于矩形光栅，光栅陡直度为46.3°时即可满足最高衍射效率要求；而对于直角三角光栅，光栅陡直度为80.4°并且光刻分辨率不低于300 nm时才可满足最高衍射效率。针对不同结构的浮雕光栅，在满足最高衍射效率时保留的高频含量是不同的，文中提出的分析方法能帮助设计者根据具体的光栅结构，提出加工精度要求，制定具体加工方案，降低加工制备难度。
光栅 衍射效率 傅里叶级数 高频分量 陡直度 grating diffraction efficiency Fourier series high frequency component steepness
广东工业大学 机电工程学院 精密微电子制造技术重点实验室, 广州 510006
为了研究超高斯脉冲在具有不同陡峭程度的超高斯型色散渐减光纤中的传输特性, 采用了非线性薛定谔方程和分步傅里叶变换的方法, 数值模拟了超高斯脉冲在超高斯型色散渐减光纤中的演化规律。在反常色散区考虑色散和非线性效应的情况下, 对超高斯脉冲的阐述特性进行了时域和频域上的理论分析与实验验证。结果表明, 陡峭程度m=4时,超高斯型色散渐减光纤的传输特性最好。此研究对超高斯型色散渐减光纤中脉冲的传输特性分析是有帮助的。
光纤光学 超高斯型色散渐减光纤 超高斯脉冲 非线性薛定谔方程 陡峭程度 反常色散区 fiber optics super-Gaussian dispersion-decreasing fiber super-Gaussian pulse nonlinear Schrdinger equation steepness anomalous dispersion region
1 长春理工大学 理学院 高功率半导体激光国家重点实验室, 长春 130022
2 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 江苏 苏州 215123
为了解决半导体激光器传统刻蚀工艺中侧壁陡直度差和器件难以重复制作的问题, 利用湿法腐蚀与干法刻蚀相结合的刻蚀手段, 对980 nm锥形半导体激光器刻蚀工艺进行优化.通过对台面粗糙度与刻蚀速度的研究, 确定湿法腐蚀液和浓度配比的差异.并分析电感耦合等离子刻蚀对脊波导与腔破坏凹槽表面形貌的影响.研究结果表明, 选择配比为NH3·H2O∶H2O2∶H2O=1∶1∶50的腐蚀液进行湿法腐蚀, 刻蚀速率约为7 nm/s, 速率容易控制.且样品表面具有较好的粗糙度和均匀性, 利用电感耦合等离子刻蚀得到的脊波导与腔破坏凹槽侧壁陡直度良好, 没有出现横向钻蚀的情况.
锥形半导体激光器 陡直度 刻蚀工艺 脊波导 腔破坏凹槽 Tapered semiconductor laser Steepness Etching process Ridge waveguide Cavity failure groove
1 中国工程物理研究院 核物理与化学研究所， 四川 绵阳 621900
2 强电磁工程与新技术国家重点实验室(华中科技大学)， 武汉 430074
3 中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 高功率微波重点实验室, 四川 绵阳 621900
为了揭示十二烷基苯中绝缘材料沿面闪络的发展过程，并研究有效提高脉冲功率装置绝缘爬电距离的方法，通过实验对不同脉冲前沿、不同电场形式下有机玻璃和尼龙6在负脉冲电压下的沿面闪络电压进行了测量。结果发现: 随着脉冲陡度的增加，沿面闪络电压增大; 随着沿面距离的增大，闪络电压升高，但闪络场强降低; 电场越不均匀，越容易发生闪络，并且在极不均匀场中，闪络距离较大时，闪络电压随沿面距离的增长趋势变缓，出现了明显的拐点。研究认为，液体介质中的沿面闪络与真空中的沿面闪络具有相似的闪络机制，沿面闪络是在气化的通道内完成的。
十二烷基苯 沿面闪络 纳秒脉冲 脉冲陡度 有机玻璃 尼龙6 dodecylbenzene surface flashover nanosecond impulse pulse steepness polymethyl methacrylate nylon 6 强激光与粒子束
2015, 27(4): 045002
1 北京应用物理与计算数学研究所, 北京 100094
2 中国工程物理研究院 太赫兹研究中心, 四川 绵阳 621900
通过理论和数值模拟方法，考虑金属粗糙度的情况下，研究了加工垂直度公差角在0～6°范围内变化时折叠波导慢波结构的工作性能，结果表明：金属波导表面的粗糙度增大时，慢波结构中电磁信号的传输损耗增大；垂直度公差角的增大也使得电磁信号的传输损耗增加，而且垂直度公差角所引起的结构变化会引起器件的电压工作点漂移、带宽降低等。
太赫兹 折叠波导行波管 慢波结构 粗糙度 垂直度 terahertz folded waveguide traveling wave tube slow-wave structure roughness exposure steepness 强激光与粒子束
2014, 26(6): 063103
1 昆明物理研究所, 云南 昆明 650223
2 长春理工大学 理学院, 吉林 长春130022
窄带滤光片设计中的一些参数, 会对其性能产生影响。为了揭示它们之间的变化关系, 在光学薄膜设计软件Essential Macleod中进行了模拟实验。主要针对窄带膜系中的高低折射率之差, 干涉级次, 反射层层数和腔数对其通带半宽度、矩形度和陡度的影响进行了分析, 并得到了它们的影响规律。对于进行窄带滤光片的设计有一定的指导作用。
光学薄膜 窄带滤光片 通带半宽度 矩形度 陡度 optical thin film narrow band-pass filter half bandwidth rectangularity steepness
1 汕头超声显示器有限公司， 广东 汕头 515065
2 广东省汕头市质量计量监督检测所， 广东 汕头 515041
为了改善车机LCD显示屏ghost现象，采用了模拟不同条件下产生ghost现象对比分析的方法，做了车机LCD显示屏不同电阻值、不同电容和液晶不同陡度等实验，获得降低阻值、减小电容、提升液晶陡度都能有效减弱车机LCD显示屏ghost现象的结果，得到通过对这三方面的改进，能有效改善车机LCD显示屏ghost现象的结论。
LCD屏 电阻值 电容值 陡度 LCD panel ghost Ghost resistance capacitance steepness
清华大学精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
现代亚微米光栅的应用通常要求栅脊侧壁陡直。通过比较两种配备不同离子源的刻蚀机的反应离子束刻蚀结果,认为影响亚微米光栅侧壁陡直度的一个重要因素是离子束发散角(束散角),且小束散角有利于获得陡直的光栅侧壁。国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大(大于13°),致使用常规方法获得的熔石英光栅的侧壁倾角仅为77°。针对此刻蚀机,尝试了三种提高侧壁陡直度的方法：旋转倾斜刻蚀法、交替倾斜刻蚀法和二次金属掩模法,分别把侧壁倾角提高到86°、86°和82°。最后从掩模侧壁收缩速率和槽底部与顶部离子通量的差异对束散角对侧壁陡直度的影响给予解释,并说明了上述三种方法的工作机理。
物理光学 衍射光栅 亚微米光栅 反应离子束刻蚀 侧壁陡直度
