1 长春理工大学 光电工程学院, 吉林长春 130022
2 长春理工大学中山研究院, 广东中山 528437
3 中山吉联光电科技有限公司, 广东中山 528437
随着星间通信系统的迅速发展，数据传输的精度要求不断提高。分光镜作为系统的核心元件，其光谱特性和面形精度直接影响整个系统的传输精度。本文基于薄膜干涉理论，选取Ta2O5与SiO2作为高低折射率膜层材料进行膜系设计，采用电子束蒸发的方式在石英基板上制备高精度分光镜。同时根据膜层应力补偿原理建立面形修正模型，修正分光镜面形。光谱分析仪检测结果显示，分光镜在入射角度为21.5°～23.5°内，1563 nm透过率大于98%，1540 nm反射率大于99%。激光干涉仪检测结果显示，分光镜反射面形精度RMS由λ/10修正至λ/90（λ=632.8 nm），透过面形精度RMS为λ/90。
星间通信 分光镜 应力补偿 面形精度 inter-satellite communication beam splitter stress compensation surface accuracy
1 长春理工大学光电工程学院，吉林 长春 130022
2 长春理工大学中山研究院，广东 中山 528437
3 中山吉联光电科技有限公司，广东 中山 528437
为抑制非相干光产生的干扰，提高紫外单色仪的分辨率，本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料，在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法，解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题；并对实验结果进行反演分析，通过优化监控方法提高了膜厚控制精度。制备的深紫外高陡度滤光膜在232~400 nm平均透过率为97.67%，在115~228 nm平均透过率为0.61%，过渡区陡度为3.6 nm，满足紫外单色仪的使用需求。
光学薄膜 紫外单色仪 深紫外滤光膜 高陡度 薄膜应力
1 长春理工大学中山研究院, 广东 中山 528437
2 长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
3 中山吉联光电科技有限公司, 广东 中山 528437
膜厚均匀性作为高精度光学薄膜的重要参数，对光学薄膜的性能起到至关重要的作用，特别是大尺寸高精度反射膜，对膜厚均匀性的要求极高。本文通过研究蒸发源的发射特性与膜厚分布，结合Mathcad软件建立精准数学及物理模型，编写自动程序，模拟修正挡板形状，极大地提高了薄膜制备均匀性修正的效率与准确性。通过该方法，在公自转行星蒸发沉积设备上制备了直径为320 mm的非球面深紫外反射镜，在紫外(240~300 nm)波段平均反射率大于97.5%，均匀性优于0.5%。本研究对大口径非球面薄膜的均匀性修正提供了理论基础与技术支撑。
薄膜 均匀性 修正挡板 大口径 非球面 thin film uniformity mask large aperture aspheric
为提高光谱探测器响应灵敏度, 减少宽光谱光束入射时产生的光能损失, 研制了超短紫外到近红外宽波段增透膜.依据增透膜设计理论, 采用隧道方法与自动优化相结合的膜系设计方法, 综合考虑膜厚影响因素, 建立了评价函数.通过优化沉积工艺, 提高了增透膜透射率.光谱测试结果表明, 200~900 nm宽波段范围的增透膜的平均透射率为95.7%, 满足光谱探测的要求.
光学薄膜 宽波段 增透膜 隧道方法 评价函数 Optical film Broadband Anti-reflective coating Tunneling Evaluation function 光子学报
2018, 47(10): 1031003
