研究了小型编码器动态检测过程中由编码器与基准编码器轴系中心线不完全重合产生的偏角导入的安装误差, 以便提高编码器检测装置的准确性和可靠性。分析了安装误差对被检编码器检测精度的影响, 推导出了存在安装偏角时引入的安装误差公式及其控制范围公式。为了使编码器的动态检测能准确地反映编码器的实际精度, 给出了最大偏角值αmax及高度差Dmax的允许范围。使用现有21位检测装置对15位被检编码器进行了检测实验, 分别对安装良好、小偏角和大偏角情况下的测量结果和安装误差曲线进行了比较和分析。结果表明: 检测15位编码器时, 将安装偏角值控制在0.36°以下可满足动态精度检测要求。本文提出的误差公式及控制方法可以运用在不同类型、不同精度的编码器检测过程中, 对提高小型光电编码器动态检测的精度和可靠性很有意义。

针对计算机控制光学表面成形中光学表面存在中高频误差的问题，提出了一种基于驻留时间补偿的有效控制方法。分析了抛光误差的形成机理和影响因素，对系统的误差影响因素进行分类和定量描述，构建了抛光过程中磨损影响因子、浓度变化影响因子和系统影响因子。基于各影响因素的影响因子对抛光驻留时间的求解函数进行了修正，提出采用离散最小二乘法对修正的函数求解驻留时间。研究表明：这种补偿方法能提高计算机控制光学表面成形技术中加工模型的精度，减小光学表面的残余误差

传统的接触式测量满足不了批量生产的快速响应,典型的结构光法和基于近景摄影测量的非接触测量方法,在三坐标测量与三坐标解算过程中人工参与多,且应用限制条件多。利用1D激光位移传感器、伺服坐标控制器和运动减震补偿设备,研制了一种三坐标非接触外形尺寸测量系统,能够实现快速三维成像,自动获取工件表面密集三维点云。激光位移传感器安装在z轴上,并与xoy平面垂直。通过严格的系统检校和滤波,控制与补偿测量误差,快速自动全面检测工件质量。实验结果表明,系统单点测量精度优于10 μm,平均测量精度优于20 μm,可满足工件检测的使用要求。

高精度检测技术是促进光学加工技术发展的必备条件.ZYGO干涉仪检测光学表面面形代表着国际先进水平,常规检测精度取决于仪器配备的标准镜头(通常标准镜头精度为λ/10,最高精度可达λ/20),λ/20测量精度不能满足更高精度面形检测的需求.本文探讨了表面绝对检测技术及误差控制,通过用ZYGO干涉仪及两种精度等级的参考镜头对f/1.07的球面镜进行常规GPI干涉和双球面实时绝对检测比对,证明了表面绝对检测的有效性.实验及分析表明:在超净实验室、高精度防振平台、高精密可旋转5维调整架及精密导轨的测量条件下,采用表面绝对测量技术,严格控制基准定位和共焦位置旋转角度定位,多次重复测量,λ/10标准镜头同样能够达到λ/30 PV的高精度检测目的.