相同关键词【电子束蒸发镀膜】论文列表 -- 中国光学期刊网

相同关键词【电子束蒸发镀膜】论文列表

期刊

选择下列全部论文 将选定结果：

现代应用光学

可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化

付秀华 ^1,2魏雨君 ^1,2,*林兆文 ^2,3潘永刚 ^2,3[ ... ]付广元 ^1,2

作者单位

摘要

¹ 长春理工大学光电工程学院，吉林长春30022

² 长春理工大学中山研究院，广东中山58436

³ 中山吉联光电科技有限公司，广东中山52846

⁴ 云南北方光学科技有限公司，云南昆明650216

为提升光学镜头的成像质量，消除杂散光的影响，以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1%的减反射膜。采用电子束离子辅助沉积的制备方式，针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题，通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差，提高制备精度和成膜稳定性。对减反射膜进行环测实验，优化调整工艺参数，侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力。实验结果表明，最终制备出的减反射膜在420~680 nm波段内的平均反射率约为0.044%，最高反射率为0.071 2%，克服了以MgF₂为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题，满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求。

光学薄膜电子束蒸发镀膜误差控制机械性能可见光反射率 thin film electron beam evaporation coating error control mechanical properties visible light reflectance

PDF全文 Full Text

光学精密工程

2024, 32(1): 1

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

热点聚焦

学术活动

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索