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同名作者【魏雨君】论文列表

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原创文章

星间通信系统高精度分光镜的研制

王振宇 ^1,2付秀华 ^1,2,*林兆文 ^2,3黄健山 ³[ ... ]王奔 ^2,3

作者单位

摘要

¹ 长春理工大学光电工程学院, 吉林长春 130022

² 长春理工大学中山研究院, 广东中山 528437

³ 中山吉联光电科技有限公司, 广东中山 528437

随着星间通信系统的迅速发展，数据传输的精度要求不断提高。分光镜作为系统的核心元件，其光谱特性和面形精度直接影响整个系统的传输精度。本文基于薄膜干涉理论，选取Ta₂O₅与SiO₂作为高低折射率膜层材料进行膜系设计，采用电子束蒸发的方式在石英基板上制备高精度分光镜。同时根据膜层应力补偿原理建立面形修正模型，修正分光镜面形。光谱分析仪检测结果显示，分光镜在入射角度为21.5°～23.5°内，1563 nm透过率大于98%，1540 nm反射率大于99%。激光干涉仪检测结果显示，分光镜反射面形精度RMS由λ/10修正至λ/90（λ=632.8 nm），透过面形精度RMS为λ/90。

星间通信分光镜应力补偿面形精度 inter-satellite communication beam splitter stress compensation surface accuracy

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中国光学

2024, 17(2): 334

现代应用光学

可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化

付秀华 ^1,2魏雨君 ^1,2,*林兆文 ^2,3潘永刚 ^2,3[ ... ]付广元 ^1,2

作者单位

摘要

¹ 长春理工大学光电工程学院，吉林长春30022

² 长春理工大学中山研究院，广东中山58436

³ 中山吉联光电科技有限公司，广东中山52846

⁴ 云南北方光学科技有限公司，云南昆明650216

为提升光学镜头的成像质量，消除杂散光的影响，以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1%的减反射膜。采用电子束离子辅助沉积的制备方式，针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题，通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差，提高制备精度和成膜稳定性。对减反射膜进行环测实验，优化调整工艺参数，侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力。实验结果表明，最终制备出的减反射膜在420~680 nm波段内的平均反射率约为0.044%，最高反射率为0.071 2%，克服了以MgF₂为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题，满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求。

光学薄膜电子束蒸发镀膜误差控制机械性能可见光反射率 thin film electron beam evaporation coating error control mechanical properties visible light reflectance

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光学精密工程

2024, 32(1): 1

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