同济大学，精密光学工程技术研究所，上海 200092
在传统遗传算法(GA)基础上，通过引入标准偏差函数构造了新的适应度函数，同时提出了一种自动降温的方法来控制退火选择策略中的温度。将这种改进的实数编码遗传算法(FGA)和单纯型算法(SA)有机结合起来，形成了新的膜系优化算法－实数编码遗传和单纯形混合算法，并编制了优化程序。实例表明该算法优化性能优越，既具有强大全局搜索能力，又能很好地实现局部搜索功能。用该算法实现了中心波长534 nm，带宽35 nm的可见光波段凹陷滤波器和高性能中性分束镜。
薄膜光学 膜系优化 遗传算法 单纯型算法 凹陷滤波器 中性分束镜 thin film optics optimization of film design genetic algorithm simplex algorithm notch filter neutral beam splitter mirror
1 同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 合肥国家同步辐射实验室, 合肥 230029
采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6 nm 的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7 nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217 nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确。在此基础上制备了121.6 nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74 nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12 nm。可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析。
薄膜光学 窄带滤光片 峰值透射率 通带半宽度 制备
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2 多层滤光膜,并在100,150,200,300 ℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响.结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大.随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300 ℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱.而150,200 ℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性.
多层膜 热处理 环境稳定性 峰值透射率
同济大学,精密光学工程技术研究所, 上海 200092
窄带高反射滤光膜在光通讯、光学探测仪器等领域有着重要应用。探讨了“基片H(LH)m1αL(HL)m2βCrM空气”膜系结构的窄带高反射滤光膜系,讨论了金属Cr层厚度,以及两种不同的匹配膜系对滤光膜特性的影响,计算了Cr层内部的电场分布。结果表明,较厚的金属层可实现更宽的截止带宽,匹配层的加入有效地实现了宽截止带的深截止,使中心波长处导纳为较大值的匹配膜系可以更好地实现滤光膜宽截止、窄带高反射特性;匹配膜层使中心波长处Cr层内部的电场强度趋于零,有效地降低了整个膜系的吸收,提高了反射率。
薄膜光学 窄带反射滤光膜 非对称法布里-珀罗结构 导纳 匹配膜系 超薄金属
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
利用直流磁控溅射方法和提拉法制备了自支撑Zr/ C8H8复合滤光膜和C8H8滤光膜.用同步辐射光源测量了滤光膜对软X射线的透射率,用俄歇电子能谱分析了膜中的元素含量.结果表明,虽然C8H8薄膜的加入在一定程度上降低了Zr滤光膜在软X射线波段的透射率,但较好地阻止了存储和使用过程中氧、氮等杂质对Zr金属膜的入侵,有效地改善了滤光膜的环境稳定性;同时很好地改善了Zr滤光膜的力学性能和表面面形,使制备的成品率提高了20%.
聚苯乙烯 滤光膜 X射线激光 透射率 强激光与粒子束
2007, 19(11): 1837
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
利用真空热蒸发的方法制备了厚度为0.28～0.40 μm的硬脂酸钠薄膜,并用光学显微镜和傅里叶红外光谱仪对硬脂酸钠薄膜进行了观察和分析,发现硬脂酸钠薄膜的红外光谱和固体的光谱具有相似性.在空气环境中硬脂酸钠薄膜不易潮解,在选择的无水脱膜溶液中,容易脱出无明显针孔的自支撑Al膜.用俄歇电子能谱测试,未发现脱出的Al膜上有残留的硬脂酸钠脱膜剂.
硬脂酸钠 脱膜剂 真空热蒸发 薄膜制备 傅里叶红外光谱
