1 同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 合肥国家同步辐射实验室, 合肥 230029
采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6 nm 的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7 nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217 nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确。在此基础上制备了121.6 nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74 nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12 nm。可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析。
薄膜光学 窄带滤光片 峰值透射率 通带半宽度 制备
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2 多层滤光膜,并在100,150,200,300 ℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响.结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大.随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300 ℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱.而150,200 ℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性.
多层膜 热处理 环境稳定性 峰值透射率
