作者单位
摘要
无锡华润上华科技有限公司, 江苏 无锡 214061
提出了一种具有分段P型埋层的Triple-RESURF LDMOS(SETR LDMOS)。该结构将传统Triple-RESURF LDMOS(TR LDMOS)中均匀掺杂的P埋层漏端一侧做分段处理,使漂移区中P型杂质从源端到漏端呈现出近似阶梯掺杂的分布。这种优化能够平衡漏端底部剧烈的衬底辅助耗尽效应,提升器件的耐压性能;同时,器件正向导通状态下,对电流的传输路径也没有形成阻碍,能够维持较低的比导通电阻。流片结果表明,在漂移区长度均为65 μm的情况下,SETR LDMOS的击穿电压能达到813 V,比传统TR LDMOS的击穿电压高51 V,且比导通电阻维持在7.3 Ω·mm2。
P型埋层 击穿电压 比导通电阻 P buried layer LDMOS LDMOS breakdown voltage specific on-resistance 
微电子学
2023, 53(1): 134
作者单位
摘要
西安邮电大学通信与信息工程学院,陕西西安 710121
针对脉冲激光近感探测在烟雾干扰下引起的虚警、漏警等问题,本文根据 Mie散射理论,运用 Monte Carlo方法建立脉冲激光近感探测模型,仿真 905 nm脉冲激光获取大小目标在无干扰和烟雾干扰两种条件下的回波,分析回波的波形特征。结果表明:无干扰情况下,发射接收系统与目标之间的距离和回波幅值呈负相关;大小目标回波前沿的上升速率均呈递增趋势。烟雾干扰情况下,烟雾回波和目标回波的脉冲宽度相对于发射激光波形均有一定的展宽,但前者的展宽程度要大于后者;烟雾回波波形呈现前沿陡峭,后沿平缓的非对称特征。研究成果可以为激光近感探测抗烟雾干扰提供理论基础。
激光近感探测 烟雾 Mie散射 Monte Carlo方法 回波特性 laser proximity detection, smoke, Mie scattering, 
红外技术
2023, 45(8): 863
乔鹏飞 1,*刘康 1代兵 1刘本建 1[ ... ]朱嘉琦 1,2
作者单位
摘要
1 特种环境复合材料技术国家级重点实验室(哈尔滨工业大学), 哈尔滨 150001
2 微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学), 哈尔滨 150001
5G 通信、能源互联网、新能源汽车、量子技术等高精尖领域对半导体的性能提出了新的更高的要求。第四代半导体金刚石因具有优异的物理化学性能被誉为“终极半导体”, 被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件最理想的材料。而浅n型掺杂的技术瓶颈一定程度阻碍了金刚石半导体应用的发展。表面终端研究为金刚石功能化的发展提供了新的策略, 金刚石通过表面终端实现了场效应晶体管、肖特基二极管、日盲紫外探测器、电子发射器件和近表面色心调控等重要应用, 而表面终端发挥作用的机理与其能带结构特点密不可分。本文综述了几种常见终端的能带研究方法, 分析其能带的结构特点, 结合特点介绍其发挥作用的机理, 并进行了总结和展望。
金刚石 表面终端 能带结构 二维空穴气 肖特基结 紫外探测 diamond surface terminal energy band structure two-dimensional hole gas Schottky junction ultraviolet detection 
人工晶体学报
2023, 52(6): 945
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学,特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150080
2 南京电子器件研究所,微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,南京 210006
3 哈尔滨工业大学,微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨 150080
随着第3代半导体的应用,电子器件向高功率、小型化发展,由此带来的“热”问题逐渐凸显,金刚石由于其超高的热导率及稳定的性质,被认为是最优的散热材料之一。简要介绍了微波等离子体化学气相沉积装备的原理及发展历程,对比分析了不同种类生长设备的差异,对单晶、多晶及纳米晶金刚石在器件散热应用中的现状进行总结,结合第3代半导体总结了金刚石增强散热产业化过程中将面临的性能与尺寸方面的瓶颈问题及金刚石材料“大、纯、快”的发展方向,并对散热应用的未来研究方向做出展望。
金刚石 微波等离子体化学气相沉积 散热 氮化镓器件 diamond microwave plasma chemical vapor deposition heat dissipation gallium nitride devices 
硅酸盐学报
2022, 50(7): 1852
作者单位
摘要
1 特种环境复合材料技术国家级重点实验室(哈尔滨工业大学),哈尔滨 150001
2 哈尔滨工业大学分析测试中心,哈尔滨 150001
3 微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学),哈尔滨 150001
微机电系统、深空、深海探测任务等对于长效、便携电源提出了更高的要求。同位素电池由于其能量密度高、功率输出稳定,可以在高低温、无太阳光照等极端环境下持续不断地为月球车、海底探测器等提供能量。作为同位素电池中的主要类型,辐射伏特效应同位素电池由于其理论能量转换效率高、易于微型化被广泛研究,并已经成功应用于心脏起搏器。宽禁带的半导体换能结器件制作的同位素电池能够获得更高的能量转换效率。宽禁带半导体中的代表金刚石具有5.5 eV的禁带宽度与耐辐射的特性,使其成为制作辐射伏特效应同位素电池换能结器件的最佳选择。随着化学气相沉积技术的发展,金刚石晶体的外延技术突飞猛进,为金刚石半导体器件的发展打下了材料基础。本文对比了常见的同位素电池换能结用半导体材料和辐射源材料的特性,介绍了辐射伏特效应的基本原理,接着对辐射伏特效应同位素电池的关键参数进行了分析,并汇总了有关金刚石辐射伏特效应同位素电池研究的文献,通过各个参数,如开路电压、转换效率等的对比,指出了目前金刚石同位素电池发展的状态与存在的问题。通过分析金刚石与其他n型半导体材料组成的异质pn结目前的性能与应用情况,给出了基于金刚石异质pn结的高性能同位素电池的结构设计,并进行了总结与展望。
同位素电池 辐射伏特效应 金刚石 肖特基器件 开路电压 半导体换能结 转换效率 isotope battery radio-voltaic effect diamond Schottky diode open circuit voltage semiconductor material for energy converter conversion efficiency 
人工晶体学报
2022, 51(5): 801
作者单位
摘要
长春理工大学 理学院 吉林省光谱探测科学与技术重点实验室, 吉林 长春 130000
中波红外器件从单色、双色, 向多光谱方向发展, 金属微纳结构是实现中波红外光谱功能的核心器件, 为研究中红外透射光谱特性并实现透射光谱的调制, 基于表面等离激元共振(SPs)理论, 结合有限时域差分法(FDTD)对薄膜型金属微纳孔阵列的透射光谱进行了模拟研究。深入分析了入射光源在中红外3.0~5.0μm波段内, 孔洞的形状和大小、孔阵列周期、金属膜层厚度以及金属材质对光谱透射特性的影响。通过设计模拟不同结构, 发现透射光谱强度主要由孔洞结构的大小决定, 改变阵列的周期可以调制透射峰位, 同时透射强度随着金属膜厚度的减小而快速增大, 金属材质Ag更易于中红外光的透射; 进一步依据圆孔半径(方孔边长)、阵列周期以及透射峰位, 用最小二乘法拟合得到了不同结构模型对应的设计关系式, 即在理论层面实现了3.0~5.0μm波段金属微纳结构透射光谱的调制功能, 为多通道孔阵滤波器以及光谱探测设备的设计提供了理论依据。
透射光谱 中红外 金属微纳结构 表面等离激元 时域有限差分法 transmission spectrum mid infrared metal micro nano structure surface plasmon FDTD 
光学技术
2022, 48(2): 177
作者单位
摘要
1 郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州 450052
2 浙江知远工程管理有限公司,杭州 311100
采用化学水浴沉积法在不同氨水用量下制备了Cu(In,Ga)Se2太阳能电池的缓冲层CdS薄膜,根据化学平衡动力学计算出混合溶液中反应粒子的初始浓度、pH值和离子积,利用台阶仪、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、量子效率测试仪(EQE)和IV测试仪对制备样品的薄膜厚度、表面形貌、晶体结构、量子效率和光电转换效率进行了表征和分析。结果表明:提高氨水用量可以抑制同质反应,促进异质反应,使CdS薄膜晶体结构从立方相向六方相转变,晶粒形状从柳絮状向颗粒状转变,晶粒尺寸逐渐增大,粒径分布更加均匀,薄膜表面更加平整,制备电池的EQE、Voc、Jsc、FF、Rs等电学参数得到优化,光电转换效率从7.64%提高到13.60%。
硫化镉薄膜 化学水浴沉积 平衡动力学 结晶类型 铜铟镓硒 CdS thin film chemical bath deposition equilibrium kinetic crystallization type CIGS 
人工晶体学报
2021, 50(2): 310
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨 150001
2 上海卫星装备研究所,上海 200240
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术制备的大尺寸、高质量单晶金刚石材料具备卓越的物理化学性能,在珠宝、电子、核与射线探测等消费品、工业和**科技领域极具应用前景。研究发现在化学气相沉积单晶金刚石生长过程中,在衬底与外延层之间,以及生长中途停止-继续生长的生长层之间出现明显的界面区。本文采用偏光显微镜、拉曼光谱、荧光光谱(PL)等手段对界面区域进行了测试分析,界面区在偏光显微镜下表现出因应力导致的亮区,且荧光光谱(PL)及其线扫描显示该区域的NV色心含量远高于衬底及其前后外延层,表明该界面区具有较高的缺陷和杂质含量。结果表明在生长高品质单晶金刚石初期就应当采取一定手段进行品质调控,并尽量在一个生长周期内完成制备。
单晶金刚石 微波导离子体化学气相沉积 界面 拉曼光谱 PL光谱 single crystal diamond microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) interface Raman spectrum PL spectrum 
人工晶体学报
2020, 49(10): 1765
作者单位
摘要
哈尔滨工业大学航天学院, 哈尔滨 150001
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术被认为是制备大尺寸高品质单晶金刚石的理想手段之一。然而其较低的生长速率(~10 μm/h)以及较高的缺陷密度(103~107 cm-2)是阻碍MPCVD单晶金刚石应用的主要因素, 经过国内外研究团队数十年的不懈努力, 在高速率生长和高品质生长两个方面都取得了众多成果。但是除此之外还需解决高速率与高品质生长相统一的问题, 才能实现MPCVD单晶金刚石的高端应用价值。
MPCVD单晶金刚石 高速率 高品质 MPCVD single crystal diamond high growth rate high growth quality 
人工晶体学报
2020, 49(6): 979
作者单位
摘要
1 江苏海洋大学测绘与海洋信息学院, 江苏 连云港 222005
2 河南财经政法大学资源与环境学院, 河南 郑州 450046
近年来, 虽然随着高光谱技术的出现可以快速获取土壤中的养分含量, 但不同的土壤类型对估算的精度会有很大的差异。 滨海湿地土壤类型受海洋环境影响较大, 其高光谱反射率与内陆土壤类型的表现会有所不同, 也就造成了同样的估算模型在反演滨海湿地土壤的养分含量时, 反演精度的降低, 随着近年来海洋资源的开发与滨海湿地生态恢复工作的不断推进, 探索一种合适的估算模型来快速准确的获取土壤中的养分含量变得更加紧迫。 该研究旨在验证利用可见-近红外高光谱反射率构建非线性模型来反演滨海湿地土壤类型中有机质(soil organic matter, SOM)含量的可行性。 以江苏省盐城大丰麋鹿国家级自然保护区的第三核心区土壤作为研究对象, 将土壤样本的光谱反射率进行5点Savitzky-Golay(S-G)平滑滤波处理, 再进行一阶微分R′、 倒数的一阶微分(1/R)′、 倒数的二阶微分(1/R)″、 对数的一阶微分(lgR)′四种微分变换后, 应用相关系数和显著性水平(p<0.01)提取土壤有机质含量的敏感波段, 利用台湾大学林智仁教授开发的MATLAB软件中的LIBSVM工具包构建SVM(support vector machine)支持向量机估算模型, 并利用MATLAB2018b软件中自带的BP(back propagation)反向传播神经网络构建估算模型, 最后利用决定系数R2和均方根误差RMSE进行模型的预测精度验证。 结果表明: 原始光谱通过5点S-G平滑滤波、 微分变换与相关系数法可以较好的提取出有效波段, 其中基于(1/R)′光谱变换提取的滨海湿地土壤有机质特征波段为498~501, 1 180~1 182, 1 946, 1 947和2 323~2 326 nm; 对比发现SVM的估算精度优于BP神经网络; 利用光谱的(1/R)′微分形式构建的SVM模型估算滨海湿地土壤SOM含量的精度最高, 决定系数R2与RMSE分别为0.93和0.23, 并且均通过了p<0.01的显著性检验。 因此利用高光谱构建SVM非线性模型来快速估算滨海湿地土壤中的养分含量具有一定的可行性。
滨海湿地 S-G滤波 SVM支持向量机 BP神经网络 Coastal wetland S-G filtering Support vector machine BP neural network 
光谱学与光谱分析
2020, 40(2): 556

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