1 浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学院，杭州 310027
2 浙江大学杭州国际科创中心，杭州 311200
碳化硅(SiC)具有禁带宽度大、电子饱和漂移速度高、击穿场强高、热导率高、化学稳定性好等优异特性，是制备高性能功率器件等半导体器件的理想材料。得益于工艺简单、操作便捷、设备要求低等优点，湿法腐蚀已作为晶体缺陷分析、表面改性的常规工艺手段，应用到了SiC晶体生长和加工中的质量检测以及SiC器件制造。根据腐蚀机制不同，湿法腐蚀可以分为电化学腐蚀和化学腐蚀。本文综述了不同湿法腐蚀工艺的腐蚀机理、腐蚀装置和应用领域，并展望了SiC湿法腐蚀工艺的发展前景。
碳化硅 湿法腐蚀 电化学腐蚀 化学腐蚀 晶体缺陷 晶体表面 silicon carbide wet etching electrochemical etching chemical etching crystal defect crystal surface
1 浙江大学,硅材料国家重点实验室,材料科学与工程学院,杭州 310027
2 浙江大学杭州国际科创中心，先进半导体研究院，杭州 311200
3 浙江大学杭州国际科创中心，先进半导体研究院，杭州 311200)
碳化硅(SiC)以其宽带隙、高临界击穿场强、高热导率、高载流子饱和迁移率等优点，被认为是目前较具发展前景的半导体材料之一。近年来，物理气相传输(PVT)法在制备大尺寸、高质量SiC单晶衬底方面取得了重大突破，进一步推动了SiC在高压、高频、高温电子器件领域的应用。SiC粉体是PVT法生长SiC单晶的原料，其纯度会直接影响SiC单晶的杂质含量，从而影响SiC单晶的电学性质，其中生长高质量的半绝缘SiC单晶更是直接受限于SiC粉体中N元素的含量。因此，合成高纯的SiC粉体是PVT法生长高质量SiC单晶的关键。本文主要介绍了高纯SiC粉体的合成方法及研究现状，重点对气相法和固相法合成高纯SiC粉体的优缺点进行了评述，并提出了今后高纯SiC粉体合成的发展方向。
单晶 高纯 SiC粉体 半导体 物理气相传输法 single crystal high purity SiC powder semiconductor physical vapor transport method
1 湖北科技学院电子与信息学院, 湖北 咸宁 437100
2 哈尔滨工程大学理学院,纤维集成光学教育部重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150001
采用自相似方法,时空调制的光子晶格广义变系数的非线性薛定谔方程化简为常系数方程,将相关的表达式代入原方程,得到了不同传播形式的精确孤子解,并详细讨论了周期性分布的亮、暗呼吸子的传输性质。
非线性光学 空间孤子 光子晶格 呼吸子 nonlinear optics spatial solitons photonic crystal lattice breather
1 华东师范大学 精密光谱科学与技术国家重点实验室, 上海 200062
2 华东师范大学 信息科技技术学院, 上海 200062
为了研究Yb3+: LuLiF4晶体在反Stokes荧光制冷过程中的热负载管理机制, 开展了在常压(1.0×105 Pa)和高真空(2.5×10-3 Pa)状态下的激光制冷实验。掺杂浓度为5 mol%的样品由两根光纤支撑, 被放置在真空状态不同的腔体内。利用波长1 020 nm, 功率3 W的激光激发样品。在常压下, 样品温度相对室温下降了ΔT≈12 K; 在高真空下, ΔT≈26 K。对于常压状态, 空气热对流负载约11.23 mW, 光纤热传导负载约0.03 mW, 腔体热辐射负载约4.8 mW。对于高真空状态, 空气热对流负载约0.03 mW, 光纤热传导负载约0.07 mW, 腔体热辐射负载约10.4 mW。实验结果表明, 当腔体压强由-105 Pa降至-10-3 Pa时, 空气热对流负载几乎忽略不计, 而腔体热辐射负载则成为作用在制冷样品上最主要的热负载。
反Stokes荧光制冷 热负载 热对流 热传导 热辐射 anti-Stokes fluorescent cooling thermal load thermal convection thermal conduction thermal radiation 红外与激光工程
2018, 47(12): 1206005
1 黑龙江科技大学 电子与信息工程学院, 哈尔滨 150022
2 哈尔滨工程大学 理学院 纤维集成光学教育部重点实验室, 哈尔滨 150080
3 黑龙江省区域地质调查所, 哈尔滨 150080
阐述了利用石英晶体旋光效应实现FBG传感系统的解调原理, 理论分析了石英晶体的旋光率与波长之间的变化关系。结果表明, 旋光率随波长的增加逐渐减小, 在834~841nm范围内近似呈线性变化。设计了双光路检测系统, 对石英晶体的旋光率与波长之间的响应关系进行了验证, 实验结果与理论分析一致。
晶体光学 石英晶体 旋光率 光纤光栅 解调 crystal optics quartz crystal specific rotation fiber Bragg grating (FBG) demodulation
