作者单位
摘要
1 西安交通大学 机械工程学院,西安 710049
2 西安恩科微纳光电科技有限公司,西安 710077
3 麦克奥迪实业集团有限公司,厦门 361006
4 陕西省计量科学研究院 国家市场监管重点实验室(计量光学及应用),西安 710100
基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。实验结果表明:通过光谱滤波获得了较为理想的白光干涉轴向响应曲线;系统的水平最大视场达到了14 mm;高度为2.04 μm和20.43 μm的标准台阶样品的测量结果分别为2.05 μm和20.47 μm,10次测量重复精度(标准差)分别为12 nm和16 nm。对粗糙度样板、微机电系统传感结构和半导体晶圆膜层进行了实测,表明所研制的系统装置在三维光学无损精密检测领域的应用具有可行性。
白光干涉 三维测量 大视场 滤波 半导体检测 White light interferometry 3D measurement Large field-of-view Filtering Semiconductor inspection 
光子学报
2024, 53(1): 0112003
刘海方 1,2苏海军 1,2,*申仲琳 1姜浩 1[ ... ]傅恒志 1
作者单位
摘要
1 1.西北工业大学 凝固技术国家重点实验室, 西安 710072
2 2.西北工业大学深圳研究院, 深圳 518057
超高温氧化物共晶陶瓷具有优异的高温强度、高温蠕变性能、高温结构稳定性以及良好的高温抗氧化和抗腐蚀性能, 成为1400 ℃以上高温氧化环境下长期服役的新型候选超高温结构材料之一, 在新一代航空航天高端装备热结构部件中具有重要的应用前景。基于熔体生长技术, 以选择性激光熔化和激光定性能量沉积为代表的激光增材制造技术具有一步快速近净成形大尺寸、复杂形状构件的独特优势, 近年来已发展成为制备高性能氧化物共晶陶瓷最具潜力的前沿技术。本文从工作原理、成形特点、技术分类等方面概述了基于熔体生长的两种典型激光增材制造技术, 综述了激光增材制造技术在超高温氧化物共晶陶瓷制备领域的研究现状和特点优势, 重点介绍了选择性激光熔化和激光定向能量沉积超高温氧化物共晶陶瓷在激光成形工艺、凝固缺陷控制、凝固组织演化、力学性能等方面的研究进展。最后, 指出了实现氧化物共晶陶瓷激光增材制造工程化应用亟需突破的关键瓶颈, 并对该领域未来的重点发展方向进行了展望。
氧化物共晶陶瓷 激光增材制造 选择性激光熔化 激光定向能量沉积 综述 oxide eutectic ceramic laser additive manufacturing selective laser melting laser directed energy deposition review 
无机材料学报
2021, 37(3): 255
作者单位
摘要
西安交通大学 应用物理系,西安 710049
本文从理论上研究了在双色频率梳激光场驱动下多光子谐波辐射光谱中的相位突变现象。我们利用Floquet理论非微扰地模拟了频率梳激光场与原子分子等量子系统的相互作用过程。谐波辐射信号是多光子偶极跃迁相干叠加的结果,通过调节频率梳激光场间的相对相位,可以相干地控制谐波辐射信号的强度。通过对谐波信号进行傅里叶变换,可以提取不同跃迁路径的相对相位信息。我们通过改变频率梳组激光场的强度和频率组分实现多光子跃迁频率,让其跨越共振跃迁频率时,谐波相位会发生突变。从而可以观测超强激光场驱动下量子系统共振跃迁频率的斯塔克能移。
相位突变 高次谐波的产生 斯塔克能移 超强激光 phase jump high-order harmonic generation Stark-shifted transition energy ultraintense laser 
强激光与粒子束
2020, 32(1): 011016
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 成都国泰真空设备有限公司, 四川 成都 611130
基于非余弦膜厚计算公式,提出了利用极坐标简化表征膜厚分布的方法,对单源电子束蒸发的光学薄膜的膜厚均匀性控制进行了研究,同时对修正板的放置位置进行了计算。相对于传统修正板置于蒸发源正上方的方法,采用极坐标法计算得到的修正板位置更有利于控制膜厚分布的均匀性。以蒸发H4和MgF2为例,分别对高、低折射率材料的修正板位置和形状进行计算,并利用这两种材料分别制备单层膜,实测光谱均匀性偏差优于0.3%,证明了所提方法的正确性与可行性。
薄膜 光学镀膜 膜厚均匀性 修正板 
光学学报
2019, 39(12): 1231001
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 长春理工大学材料科学与工程学院, 吉林 长春 130022
为了提高开放型回归器件在808 nm波长处的反射性能,分析了玻璃微珠折射率对定向回归反射的影响。利用光学仿真软件TracePro对具有3种不同折射率(1.93、2.00和2.20)的回归反射器件结构单元(玻璃微珠)的回归反射性能进行模拟分析,得到了光线垂直入射时采用普通基底的传统开放型回归器件结构单元的理论反射率仅为23.6%,采用高反射基底时,理论最高反射率可达98.1%,回归器件的反光性能提高了3倍。在808 nm波长处制备了反射率为99.3%的高反射光学薄膜,并在镀有此高反射光学薄膜的基底上制备了高反射回归器件。分别对使用两种基底的回归器件进行测试,结果表明,在高反射基底上使用折射率为1.93的玻璃微珠制成的回归器件具有最佳的回归反射率,光线垂直入射时的回归反射率可达46.2%。
薄膜 定向回归反射 几何光学 仿真 玻璃微珠 
光学学报
2019, 39(11): 1131003
黄建国 1,*邹淅 1赵迪 1欧文 2[ ... ]王向展 1
作者单位
摘要
1 电子科技大学 微电子与固体电子学院, 成都 610000
2 科磊得数码光电科技有限公司, 广东 东莞 523000
针对带有常规的第一类反光杯的基板结构因受限于封装引线键合工艺而反光杯尺寸较小的情况, 通过光学理论分析了其存在反射光线不完全的问题, 提出在LED模组芯片间开设第二类反光结构的解决方案。并基于光学分析软件Tracepro的仿真研究, 验证了其有效性。在此基础上设计了新型包含两类反光杯的基板结构, 最高可使LED模组出光效率和中心光强与没有开反光杯的情况相比提升近23%和 38%。
LED模组基板 反光杯 反射率 出光效率 光强分布 substrate of LED module reflective cups reflectivity light extraction efficiency light intensity distribution 
半导体光电
2014, 35(5): 828
作者单位
摘要
1 电子科技大学 微电子与固体电子学院, 成都 610054
2 科磊得数码光电科技有限公司, 广东 东莞 523000
芯片阵列均匀排列的常规大功率LED模组因温度场叠加会导致中心温度过高、温度分布不均匀。在理论分析面热源温度分布函数及多热源相互影响的基础上提出了一种LED芯片外密内疏排列的模组设计方案, 并与ANSYS有限元仿真的结果进行了对比验证。当芯片按照优化后的对数和幂函数分布时芯片最高温度比常规均匀排列时均低约5℃, 芯片温度的方差降低约56%。外密内疏的非均匀芯片排列方案在基板较小、较薄时对散热效果的改善更好。
大功率LED模组 中心温度 温度分布均匀度 外密内疏 有限元仿真 highpower LED module core temperature uniformity of temperature distribution dense inside and sparse outside FEM 
半导体光电
2014, 35(4): 654

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