上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
利用电子束蒸发在硅基底材料上沉积氟化镱(YbF3)薄膜,并对不同沉积温度所得薄膜进行了研究。研究结果表明,在反可见透红外波段上,沉积温度对于YbF3薄膜的物理和光学特性有较大影响。当沉积温度为150 ℃和180 ℃时,硅基底上的YbF3薄膜的光学性能和可靠性较差;当沉积温度为220 ℃和240 ℃时,硅基底上的YbF3薄膜具有良好的光学性能和可靠性,能适用于不同要求的薄膜产品研制。
氟化镱薄膜 电子束蒸发 反可见透红外波段 硅基底 沉积温度 YbF3 films electron beam evaporation in the opposite visible through infrared silicon substrate deposition temperature
1 中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083
2 中国科学院大学，北京 100049
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面，研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明，相较于电阻加热蒸发方式，用电子束加热蒸发得到的YbF3薄膜，其致密性更好，水汽吸收更少；薄膜太厚或沉积温度太高会加大YbF3薄膜的应力，使薄膜表面出现裂痕，甚至使薄膜脱落；离子束辅助沉积可以增加YbF3薄膜的附着力，改善薄膜的表面质量；随着离子束能量的增加，薄膜的应力先增大后减小。根据以上研究结果得出YbF3薄膜的最佳沉积工艺，并研制出具有良好光谱性能和高可靠性的宽光谱增透膜。
薄膜 氟化镱 可靠性 离子束辅助沉积 应力 附着力
1 北京工业大学 材料科学与工程学院， 北京100124
2 南京航空航天大学 理学院， 江苏 南京210016
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上成功制备了具有上下转换的Er∶YbF3转光薄膜。研究发现，所制备的Er∶YbF3转光薄膜实现了上下转换两种机制的结合，能有效地把紫外光和红外光转换到非晶硅太阳能电池最佳响应范围内的656 nm处。进一步分析了衬底温度对薄膜相结构及光学性能影响的物理机制。当衬底温度高于500 ℃时，薄膜会随着温度的升高而结晶性变强，但有杂相生成。研究结果表明，Er∶YbF3转光薄膜的光学性能在衬底温度为500 ℃时最佳，有望应用到非晶硅太阳能电池上使其光电效率提高。
太阳能电池 上转换 下转换 Er∶YbF3薄膜 衬底温度 solar cells up-conversion down-conversion Er∶YbF3 films substrate temperature
1 中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209
2 中国科学院研究生院,北京,100039
采用热蒸发法镀制了单层YbF3薄膜,观察了薄膜表面主要的微观结构缺陷,研究了沉积温度对薄膜折射率与表面缺陷的影响,测量了薄膜施加沉积温度前后的粗糙度变化.结果表明:通过加温可以降低薄膜的表面粗糙度与缺陷密度大小.
YbF3薄膜 表面粗糙度 缺陷密度 光学薄膜
1 中国科学院,长春光学精密?涤胛锢硌芯克?吉林,长春,130033
2 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6
μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜取得了较好的效果.同时所研制的分色镜在透射率、反射率,吸收等光学性质,应力硬度牢固度等力学性质,和抗高能激光损伤阈值等方面进行了一系列的测试,基本达到理想的指标.
离子辅助沉积 红外高能激光分色镜 YbF3薄膜 激光阈值 光学薄膜
