为延长稀有气体卤化物准分子激光器工作气体使用寿命, 在原有供气设备基础上增加了工作气体实时补给技术.该技术采用FPGA控制系统将逐步提高放电电压、补充卤素气体和更换部分混合气体等操作有效组合起来.随着激光脉冲能量的下降, 逐步提高放电电压; 当放电电压达到最大值时, 开始补充卤素气体, 并恢复放电电压; 当补充卤素气体效果不明显时, 更换部分混合工作气体.将该技术应用于医用型ArF准分子激光器中进行实验研究, 结果表明: 在没有使用工作气体实时补给技术的情况下, 激光器累计工作14.38 h后, 输出单脉冲激光能量下降了17.2%;采用工作气体实时补给技术后, 激光器输出能量下降速率明显降低, 累计工作14.38 h, 其单脉冲能量下降率能控制在3%范围内.因此, 采用该技术可延长激光器工作气体的使用寿命、提高输出激光能量稳定性、减少停机次数并降低运行成本.

为了对控制系统稳定性能和扰动隔离能力进行分析，对二级稳定系统进行了建模和控制器设计，仿真结果显示，系统速率稳定回路带宽提升至200 Hz，1 Hz位置隔离度提升至-901 dB。在实际系统中，采用位置敏感探测器(PSD)测量瞄准线的运动，隔离度测试实验结果显示1 Hz位置隔离度提升至-731 dB，提升约20 dB，测试结果证明:二级稳定技术能够显著提高系统的稳定精度。

在捷联寻北仪工作过程中，摩擦非线性造成转台伺服系统低速不平稳性，导致陀螺输出漂移变大，影响寻北精度。为了提高伺服转台速度平稳性，设计了自抗扰控制器，实现转台的稳速控制，保证转台快速、平稳定位，以便减少陀螺漂移。仿真结果表明，与采用 PID控制相比，速度稳定回路获得较好的动态性能，快速性、平稳性和抗干扰能力都得到提高；实验结果表明，动力调谐陀螺输出更加平稳，减小了陀螺输出的随机漂移，寻北误差从 34.4″减小到 27.7″，有效地提高了系统的寻北精度。

载体平台摇摆对两轴光电跟踪仪光轴指向的扰动是制约光电跟踪仪跟踪稳定性和跟踪精度提高的关键因素。本文首先从控制原理出发比较了传统速率稳定方式与捷联稳定方式，然后针对两轴光电跟踪仪捷联稳定方式建立了扰动作用于光轴指向分量的数学模型，最后对某型光电跟踪仪采用了捷联稳定技术，并设计了相应的伺服系统，试验表明此系统设计合理，满足使用。