作者单位
摘要
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室, 吉林长春130033
为了实现在8寸化学机械抛光设备上进行小尺寸镀铜InP晶圆的减薄抛光工作,提高设备的兼容性,缩减工艺步骤,减少过多操作导致InP晶圆出现裂纹暗伤和表面颗粒增加等问题,自制特殊模具,使小尺寸InP晶圆在8寸化学机械抛光设备上进行加工,再根据InP晶圆易碎的缺陷问题,通过调整设备的抛光头压力、转速和抛光垫的转速等相关工艺参数,使其满足后续键合工艺的相关需求。实验结果表明:在使用特殊模具下,当抛光头的压力调整为20.684 kPa、抛光头与抛光垫的转速分别为:93 r/min和87 r/min时,InP晶圆的表面粗糙度达到:Ra≤1 nm;表面铜层的去除速率达到3 857×10-10/min;后续与8寸晶圆的键合避免键合位置出现空洞等缺陷,实现2寸InP晶圆在8寸设备上的CMP工艺,大大降低了CMP工艺成本,同时避免晶圆在转移过程中出现表面颗粒度增加和划伤的情况,实现了InP晶圆与Si晶圆的异质键合及Cu互连工艺。
化学机械抛光 磷化铟 去除速率 键合 表面粗糙度 chemical mechanical polishing InP removal rate bonding surface roughness 
光学 精密工程
2024, 32(3): 392
作者单位
摘要
闽南师范大学物理与信息工程学院光场调控及其系统集成应用福建省高校重点实验室,福建 漳州 363000
Ge/Si雪崩光电二极管(APD)被广泛应用于近红外探测领域,但由于Ge和Si之间存在4.2%的晶格失配,故难以获得高性能的Ge/Si APD。提出在Ge/Si键合界面处引入多晶硅(poly-Si)键合中间层,弱化Ge/Si失配晶格对APD器件性能的影响。poly-Si引入后键合界面电场发生变化,导致APD内部的电场重新分布,极大地影响了器件性能。因此,重点对Ge吸收层和Si倍增层的掺杂浓度进行调控,探究了掺杂浓度对Ge/Si APD电场、复合率、载流子浓度、碰撞电离等性能的影响,最终设计出高性能键合Ge/Si APD。本工作将为低噪声、高增益Ge/Si APD的研究提供理论指导。
材料 Ge/Si雪崩光电二极管 晶格失配 poly-Si键合层 掺杂浓度 
中国激光
2024, 51(8): 0803001
谢钗 1段勇威 1刘泉澄 1,*邓琥 1,2[ ... ]尚丽平 1,2,**
作者单位
摘要
1 西南科技大学信息工程学院,四川 绵阳 621010
2 西南科大四川天府新区创新研究院,四川 成都 610299
3 中国工程物理研究院化工材料研究所,四川 绵阳 621900
太赫兹光谱可表征晶体分子间弱相互作用,太赫兹光谱的非谐性机理为晶体宏观性质认知提供了微观基础。以2,6-二氨基-3,5-二硝基吡嗪(ANPZ)为对象,研究了温度作用下太赫兹光谱非谐性机理。通过光谱测量,获得ANPZ不同吸收峰的温度诱导非谐特性。通过密度泛函理论,对吸收的振动特性进行指认。对振动特性的分解结果表明:特定分子间氢键的软化是太赫兹光谱强非谐性的原因。进一步,基于声子和准简谐近似计算了ANPZ原子随温度的位移特性,并对上述分析结论进行了验证。研究表明:太赫兹光谱技术结合相关方法,可以深入分析温度作用下晶体内分子间氢键的响应规律,可为晶体宏观性质的认识提供科学分析手段。
光谱学 非谐性 模态分解 分子间氢键 温度 
激光与光电子学进展
2024, 61(5): 0530001
姚建华 1,2,*李波 1,2张群莉 1,2胡耀峰 1,2[ ... ]王健君 1,2
作者单位
摘要
1 浙江工业大学激光先进制造研究院,浙江 杭州 310023
2 浙江工业大学机械工程学院,浙江 杭州 310023
以Ti6Al4V沉积层为基体,研究基体表面预处理对超音速激光沉积涂层/基体界面结合的影响。试验前,基体表面经过三种不同方式的预处理,分别为抛光、打磨和喷砂。利用X射线衍射仪和表面轮廓仪对基体表面的物相组成和粗糙度进行了分析,利用光学显微镜对涂层/基体界面结合进行了分析,利用单颗粒撞击有限元模型对颗粒与不同表面粗糙度基体的结合情况进行了分析。研究结果表明,打磨处理的基体由于表面生成氧化钛陶瓷相,涂层发生脱落。抛光处理的基体较喷砂处理的基体有更低的表面粗糙度,其涂层/基体界面结合更紧密。数值模拟表明,基体表面的起伏特征在颗粒/基体界面处促成温度和应变的不均匀分布,阻碍颗粒与基体间的紧密结合。
超音速激光沉积 钛合金 表面预处理 界面结合 有限元分析 
激光与光电子学进展
2024, 61(1): 0114004
吕名扬 1,2,3任姣姣 1,2,3,*张丹丹 1,2,3顾健 1,2,3[ ... ]张霁旸 1,2,3
作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室
2 长春理工大学 光电工程学院,吉林长春 130022
3 长春理工大学中山研究院,广东中山 528400
异形曲面构件在航空、航天、船舶等领域应用广泛,其粘接质量成为影响工作安全的重要因素。太赫兹凭借其独特的物理特性,近乎是对聚甲基丙烯酰亚胺(PMI)材料粘接质量进行检测的唯一手段。异形曲面构件上下表面曲率不一致,仅以上表面作为基准曲面进行路径规划时,无法对异形曲面构件粘接质量进行准确判断。对此,在下表面固定不同形状的金属片模拟粘接层中的缺陷,分别以异形曲面构件上下表面为基准曲面,采用机器人化太赫兹时域光谱检测系统进行检测。对上下表面 2个基准曲面的太赫兹成像结果进行对比分析,结果表明,以下表面为基准曲面进行检测时,区域Ⅱ、Ⅲ处信号信噪比,较上表面为基准曲面检测时提高 12.09 dB、10.39 dB;区域 Ⅱ、 Ⅲ处金属片实际检测面积与理论面积比值,较上表面为基准曲面检测时提高 55.97%、 80.81%,更好地满足了异形曲面构件的检测要求。这项工作将促进太赫兹成像在实践中的应用,并为相关领域的进一步研究提供支撑。
异形曲面构件 粘接质量 基准曲面 太赫兹成像 special-shaped surface component bonding quality benchmark surface terahertz imaging 
太赫兹科学与电子信息学报
2023, 21(8): 977
作者单位
摘要
华北光电技术研究所,北京100015
金丝楔形键合是一种通过超声振动和键合力协同作用来实现芯片与电路引出互连的技术。现今,此引线键合技术是微电子封装领域最重要、应用最广泛的技术之一。引线键合互连的质量是影响红外探测器组件可靠性和可信性的重要因素。基于红外探测器组件,对金丝楔形键合强度的多维影响因素进行探究。从键合焊盘质量和金丝楔焊焊点形貌对键合强度的影响入手,开展了超声功率、键合压力及键合时间对金丝楔形键合强度的影响研究。根据金丝楔焊原理及工艺过程,选取红外探测器组件进行强度影响规律试验及分析,指导实际金丝楔焊工艺,并对最佳工艺参数下的金丝键合拉力均匀性进行探究,验证了金丝楔形键合强度工艺一致性。
引线键合 楔形键合 超声键合 影响规律分析 wire bonding wedge bonding ultrasonic bonding analysis of influence law 
红外
2023, 44(11): 0013
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
声表面波器件内连的主流工艺是硅铝丝超声键合,而跟部微损伤是该工艺最大的质量隐患。该文从超声键合原理和工艺技术出发,对造成跟部微损伤的影响因素进行了分析,并给出了相应的解决方案。该方案使声表面波器件的键合点跟部微损伤得到有效控制。
声表面波器件 超声键合 跟部微损伤 SAW device ultrasonic bonding heel micro-crack 
压电与声光
2023, 45(5): 682
作者单位
摘要
1 天通凯巨科技有限公司,江苏 徐州 221000
2 天通控股股份有限公司,浙江 嘉兴 314000
3 天通凯巨科技有限公司,江苏 徐州 221000天通控股股份有限公司,浙江 嘉兴 314000
铌酸锂作为一种优良的多功能晶体材料,在光学、声学、电学和电子领域应用较广。已有研究表明,在集成光电子器件应用中对铌酸锂晶片进行键合,可提高器件的传输频率,降低损耗,实现高集成密度。该文总结了近年来国内外有关铌酸锂晶片键合技术的研究现状,介绍了键合强度的分析方法,以及铌酸锂键合晶圆在集成光电子器件中的最新研究进展,展望了铌酸锂键合技术的未来发展。
铌酸锂 键合 光电子器件 集成 调制器 lithium niobate bonding optoelectronic device integration modulator 
压电与声光
2023, 45(6): 926
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十四研究所, 重庆 400060
研究了18、25、30 μm三种金丝和25、32、45 μm三种硅铝丝键合引线在不同温度循环次数下的键合强度衰减规律,并研究了拉断模式的比例。结果表明,所有试验样品,无论是否经历温度循环,均达到了GJB548B-2005方法2011.1中的最小键合强度要求,均未出现焊点拉脱的现象。随着温度循环次数的增加,金丝键合强度先略微增大,后缓慢减小并趋于平缓。硅铝丝键合强度先较快减小,后缓慢减小,并趋于平缓。相比于金丝,硅铝丝在0~50次的温度循环下键合强度衰减较快。通过曲线拟合,获得不同丝径下的键合强度衰减变化方程。
微电子封装 引线键合 键合强度 温度循环 microelectronics package wire bonding bonding strength temperature cycle 
微电子学
2023, 53(2): 355
作者单位
摘要
1 山东科技大学机械电子工程学院, 青岛 266590
2 山东菏泽市曹县科技局, 菏泽 274499
本文构建了Co 质量分数分别为6%、8%、10%和12%的WC-Co/SiC/Diamond金刚石涂层硬质合金界面模型, 利用分子动力学方法模拟了不同沉积温度对其界面结合强度的影响, 从黏附功及键长分布两个方面进行具体分析。黏附功分析结果表明, 与其他三种Co含量界面模型相比, WC-6%Co/SiC/Diamond界面模型在七个沉积温度下所包含的两种界面的黏附功值均为最高值, 并且在不同沉积温度下, WC-6%Co/SiC/Diamond界面模型所包含的WC-6%Co/SiC界面、SiC/Diamond界面的黏附功分别在1 123、1 173 K时最大, 为2.468、5.394 J/m2。键长分布概率分析结果表明, 与其他三种Co含量界面模型相比, 在任一沉积温度下, WC-6%Co/SiC/Diamond界面模型各界面处键长分布范围的最大值较小, 且在1 123 K时在WC-6%Co基体上沉积SiC中间层, 在1 173 K时在SiC中间层上沉积Diamond涂层后, 该界面模型界面处的键长最短, 键能最大, 界面结合性能最好。
金刚石涂层硬质合金 沉积温度 Co含量 界面黏附功 界面结合性能 键长 diamond-coated cemented carbide WC-Co/SiC/Diamond WC-Co/SiC/Diamond deposition temperature Co content interface adhesion work interface bonding property bond length 
人工晶体学报
2023, 52(11): 1997

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