1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
3 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
通过菲佐型干涉系统、直角圆锥反射镜的一次性测量, 可获得圆柱形光学元件整周的面形信息。为实现高精度的面形测量, 实验装置的校准至关重要, 但由于调整机构的缺陷导致圆锥反射镜和被测圆柱的空间方位难以确定, 距离理想位置的任何位置偏差将给测量结果引入严重的测量误差。为去除该系统误差, 要明确各种失调误差的形成原因, 分析其对测量结果的影响。通过圆柱坐标系下数学模型的建立, 推导出偏移误差和旋转误差的变化公式, 并通过Matlab数值模拟和实际测量对其进行验证。结果表明, 利用误差计算公式可以推导出失调误差系数, 便于进一步的系统误差校正。
测量 菲佐干涉测量 360°柱面 圆锥镜 失调误差
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033
分析了用干涉仪检测中心遮拦光学元件时仍采用圆泽尼克(Zernike)多项式表述相位和求解赛德尔像差的弊端,在环形域上,圆泽尼克多项式不再具有正交性和明确的物理意义。给出了环域泽尼克多项式的求解方式和表达形式,这些表达式具有和圆泽尼克同样的性质和意义。利用Zygo数字干涉仪对口径为300 mm,中心遮拦比为0.23的非球面进行了零位补偿检验,用编制的计算程序对其进行环域泽尼克多项式波面拟合,得到的前4项分布可以作为调整误差而消去,进而获得较准确的面形信息,从而为超精加工提供了依据。
光学检测 中心遮拦 泽尼克多项式 调整误差 激光与光电子学进展
2010, 47(9): 091201
