1 浙江理工大学纳米测量技术实验室,浙江 杭州 310018
2 中国计量科学研究院,北京 100029
3 中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
为了解决外差干涉相位测量中多通道采样信号间的串扰误差对相位测量精度的影响,提出了一种基于采样信号频谱分析的预补偿方法来实现信号串扰误差的补偿和消除。首先建立基于锁相放大的正交鉴相法的信号串扰误差理论模型,阐明了串扰系数、输入信号幅值比和串扰信号相位偏移对相位测量误差的影响;设计仿真实验验证了该误差模型和补偿方法的有效性;然后基于紧凑型FPGA开发平台设计了相位测量实验,结果表明该补偿方法能够有效消除信号串扰误差的影响,补偿后相位测量的最大误差从0.34°下降到0.01°;最后搭建了外差干涉仪并与高精度的压电位移平台进行比对,实验结果表明补偿后的信号处理系统能够满足外差干涉测量的应用需求。
测量 外差干涉 正交鉴相 信号串扰 频谱分析 位移测量 中国激光
2023, 50(10): 1004001
1 北方工业大学机械与材料工程学院,北京 100144
2 北京理工大学机械与车辆学院,北京 100081
波片精度对偏振光学系统性能有着重要的影响,故需要对其相位延迟量和快轴方位角进行高精度测量。提出了一种新型基于双频激光干涉相位检测的高精度波片测量方法,采用双频激光外差干涉光路,利用一个可旋转半波片和一个角锥反射棱镜测量待测波片,可实现任意波片的相位延迟量和快轴方位角的高精度同时测量。所提方法不受波片、偏振片等双折射器件的方位角精度的影响,从原理上避免了该类系统误差。所设计的系统具有共光路结构,测量稳定性高,信号处理采用相位检测方式相对于一般的光强检测方式测量精度更高。此外,所设计的测量系统中元件很少,结构简单,测量过程快捷。误差分析表明,在现有实验条件下,测量系统的波片相位延迟量的测量不确定度约为3.9',快轴方位角的测量不确定度约为5''。实验比对结果表明,所提方法的测量结果与其他方法测量结果的一致性很好。重复性测量实验表明,测量结果的标准偏差约为2'。
测量 波片测量 相位延迟量 快轴方位角 双频激光干涉 相位检测
红外与激光工程
2022, 51(4): 20210186
结构光三维测量技术以其非接触、精度高等优点而具有广泛的应用,但对于强反射物体表面,所采集的结构光图像会形成局部亮度饱和,导致信息失真或丢失,无法进行精确的三维重建。为实现强反射表面的测量,采用了一种改进的基于投影栅相位法的三维测量方法,对投影的相移编码图像二值化,并采用多幅不同曝光时间下所采集的图像进行融合,重建条纹图像序列,该方法增强了编码图像的鲁棒性,较好地解决了相机动态范围与物体表面反射亮度范围不一致的问题。实验结果表明,所提方法能够克服已有方法中图像局部饱和所导致的测量信息丢失的缺陷,实现对强反射曲面的结构光三维形貌的高精度完整测量。
强反射表面 投影栅相位法 多次曝光 图像融合 highly-reflective surface phase detection of projected grating multi-exposure image fusion
1 西安工业大学 光电工程学院, 西安 710021
2 陕西省组合与智能导航重点实验室, 西安 710068
针对激光多普勒加速度测量系统信号信噪比较差的问题,提出了一种采用数字相关鉴相算法进行加速度解调的方法.使用数字相关鉴相算法计算激光多普勒加速度测量系统中两路干涉信号的相位差,再由相位差的变化率来计算目标加速度,从而实现运动物体加速度的连续测量.仿真结果表明:该算法在信噪比为20 dB时,加速度测量的误差为0.135 m/s2,分辨率为7.3×10-3 m/s2.搭建了激光多普勒加速度测量系统,对压电陶瓷振荡器的加速度进行测量,加速度的测量误差为0.13 m/s2.测量结果表明,该算法能够有效减少随机噪声的干扰,提高加速度的测量精度.
光学相干 加速度测量 数字相关鉴相 多普勒效应 相位解调 Optical coherence Acceleration measurement Digital correlation phase detection Doppler effect Phase demodulation 光子学报
2019, 48(12): 1206003
1 上海大学通信与信息工程学院特种光纤与光接入网省部级共建国家重点实验室培育基地, 上海 200444
2 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
3 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
为实现高灵敏度的外差相位检测,提出了一种基于光外差检测原理的光纤四通道双平衡外差相位检测方法。搭建光纤四通道双平衡外差检测光路,采用1/4波片作为相位检测样品,验证分析了光纤四通道双平衡外差相位检测的性能。分析了外差检测中信号调制频率对相位测量结果的影响,结果表明受限于光电接收器件的响应带宽,过高或过低的调制频率均不能有效检测到相位信息。在实验中,最优的信号调制频率范围为 500.5~1550.5 kHz,实际测得的相位均方根为89.1°,标准差为0.3°。在此基础上,分析了双平衡外差干涉中光纤分束比以及耦合透镜的有效接收口径效应对相位检测的影响。当光纤分束比接近1∶1时,得到了较高信噪比下更加精确的检测结果;通过改变耦合透镜的发射角,验证了有效接收口径对接收信号灵敏度的实际影响。
测量 外差检测 四通道双平衡探测 电光调制 相位检测
随着手机拍照要求和性能的提升, 相位检测自动对焦(PDAF)类模组广受关注。由于手动方式测试此类模组测试效率低、测量精度低、工人劳动强度大等不足, 结合实际生产情况, 综合机械设计、机械理论、工程材料等相关知识, 通过理论计算与实际模拟相结合的方式, 设计并制造了 1台三工位自动对焦设备, 其实际生产效率能够达到 210 片/h。为了更好地提高工作效率, 进一步将三工位自动对焦测试设备改造成六工位自动对焦设备, 改造后生产效率能够达到 360 片/h, 测试效率提升了 70%左右。
手机摄像模组 多工位自动对焦设备 测试 相位检测自动对焦 mobile camera module multi-station autofocus equipment test phase detection autofocus