作者单位
摘要
1 浙江理工大学纳米测量技术实验室,浙江 杭州 310018
2 中国计量科学研究院,北京 100029
3 中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
为了解决外差干涉相位测量中多通道采样信号间的串扰误差对相位测量精度的影响,提出了一种基于采样信号频谱分析的预补偿方法来实现信号串扰误差的补偿和消除。首先建立基于锁相放大的正交鉴相法的信号串扰误差理论模型,阐明了串扰系数、输入信号幅值比和串扰信号相位偏移对相位测量误差的影响;设计仿真实验验证了该误差模型和补偿方法的有效性;然后基于紧凑型FPGA开发平台设计了相位测量实验,结果表明该补偿方法能够有效消除信号串扰误差的影响,补偿后相位测量的最大误差从0.34°下降到0.01°;最后搭建了外差干涉仪并与高精度的压电位移平台进行比对,实验结果表明补偿后的信号处理系统能够满足外差干涉测量的应用需求。
测量 外差干涉 正交鉴相 信号串扰 频谱分析 位移测量 
中国激光
2023, 50(10): 1004001
作者单位
摘要
1 北方工业大学机械与材料工程学院,北京 100144
2 北京理工大学机械与车辆学院,北京 100081
波片精度对偏振光学系统性能有着重要的影响,故需要对其相位延迟量和快轴方位角进行高精度测量。提出了一种新型基于双频激光干涉相位检测的高精度波片测量方法,采用双频激光外差干涉光路,利用一个可旋转半波片和一个角锥反射棱镜测量待测波片,可实现任意波片的相位延迟量和快轴方位角的高精度同时测量。所提方法不受波片、偏振片等双折射器件的方位角精度的影响,从原理上避免了该类系统误差。所设计的系统具有共光路结构,测量稳定性高,信号处理采用相位检测方式相对于一般的光强检测方式测量精度更高。此外,所设计的测量系统中元件很少,结构简单,测量过程快捷。误差分析表明,在现有实验条件下,测量系统的波片相位延迟量的测量不确定度约为3.9',快轴方位角的测量不确定度约为5''。实验比对结果表明,所提方法的测量结果与其他方法测量结果的一致性很好。重复性测量实验表明,测量结果的标准偏差约为2'。
测量 波片测量 相位延迟量 快轴方位角 双频激光干涉 相位检测 
光学学报
2023, 43(1): 0112002
潘映伶 1,2纪荣祎 1,2,*高超 1,2周维虎 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所,北京 100029
2 中国科学院大学,北京 100049
测量速度和测量精度是相位式激光测距系统的两个重要指标。针对高速高精度测距需求,研究了基于矢量内积(Vector Inner Product, VIP)法的高速数字鉴相方法,从鉴相计算的点数、鉴相计算速度和鉴相精度等方面对VIP法的鉴相性能进行了仿真分析和实验测试,并与传统的数字频域鉴相法(Discrete Fourier Transform, DFT)进行了性能对比。仿真和实验结果表明,VIP法具有更高的鉴相速度和鉴相精度,当信号调制频率为50 MHz时,基于高速采样板卡实测得到的鉴相精度优于0.1°,测距精度0.2 mm以内,相同计算点数VIP法的鉴相处理速度是DFT法的3倍。研究结果表明,VIP法具有鉴相精度高、鉴相速度快的优点,适用于高速高精度激光测距系统。
相位测距 鉴相方法 矢量内积法 高精度测距 phase ranging phase detection method Vector Inner Product (VIP) method high-precision ranging 
红外与激光工程
2022, 51(4): 20210186
作者单位
摘要
南京邮电大学 电子与光学工程学院、微电子学院,江苏南京210000
光学综合孔径成像技术的关键是解决共相位问题,子孔径之间的相位失调会严重影响成像质量,工程上一般要求调相精度达到光波段λ/10。本文采用压电陶瓷制备一种液体调相器,利用干涉法和数字图像处理技术实现对调相器相位的高精度检测。通过向压电陶瓷腔注入液体来制备调相器,利用干涉仪获得压电陶瓷液体调相器在不同电压下的干涉条纹并使用CCD记录,最后对这些干涉条纹图像进行数字图像处理,得到单个像素的条纹骨架,采用条纹标记法跟踪不同电压下骨架条纹的移动情况,并计算骨架条纹的像素移动量。实验结果表明,在0~30 V的电压下,压电陶瓷液体调相器的调相范围为0~3.325π,调节精度可以达到λ/40,并且在电压区间内调相的线性度良好,满足光学综合孔径中单个子镜的相位调制精度要求。
综合孔径成像 压电陶瓷 液体调相器 数字图像处理 相位检测 synthetic aperture imaging piezoelectric ceramics liquid phase modulator digital image processing phase detection 
光学 精密工程
2021, 29(5): 1052
作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海200093
将泵浦—探测技术的时间分辨能力引入到光学涡旋日冕仪成像系统中,从而在实现微弱相位型物体无背景成像的同时对其做时间分辨诊断。将该技术应用于飞秒激光激发的空气等离子体的诊断。实验结果表明,利用该技术可以清晰地观察到空气等离子体的生成过程,且实验结果与数值模拟结果符合较好。另外,还观测到空气等离子体的两个衰减过程,并对其进行了双指数拟合分析。其中,具有较快时间尺度(~65 ps)的过程主要由电子与正离子复合导致,具有较慢时间尺度(~810 ps)的衰减过程主要由自由电子在氧气分子上的附着所致。
信息光学 灵敏相位探测 光学涡旋日冕仪 空气等离子体 泵浦探测 飞秒激光 Information optics Sensitive phase detection Optical vortex coronagraph Air plasma Pump-probe method Femtosecond laser 
光子学报
2021, 50(8): 0850216
作者单位
摘要
江苏科技大学,江苏 镇江 212000
结构光三维测量技术以其非接触、精度高等优点而具有广泛的应用,但对于强反射物体表面,所采集的结构光图像会形成局部亮度饱和,导致信息失真或丢失,无法进行精确的三维重建。为实现强反射表面的测量,采用了一种改进的基于投影栅相位法的三维测量方法,对投影的相移编码图像二值化,并采用多幅不同曝光时间下所采集的图像进行融合,重建条纹图像序列,该方法增强了编码图像的鲁棒性,较好地解决了相机动态范围与物体表面反射亮度范围不一致的问题。实验结果表明,所提方法能够克服已有方法中图像局部饱和所导致的测量信息丢失的缺陷,实现对强反射曲面的结构光三维形貌的高精度完整测量。
强反射表面 投影栅相位法 多次曝光 图像融合 highly-reflective surface phase detection of projected grating multi-exposure image fusion 
电光与控制
2021, 28(1): 94
作者单位
摘要
西安邮电大学 电子工程学院, 西安 710121
光寻址电位传感器的幅度检测方法易受噪声干扰,灵敏度差,信噪比和精度低,且受调制光源的影响较大,影响检测结果的准确性.为此提出了一种基于正交相位检波的光寻址电位传感器检测方法.该方法是将光寻址电位传感器的输出光电流信号分别与两路正交信号相乘,通过低通滤波提取直流分量并相除,即可得到光寻址电位传感器的输出信号相位信息.与已有的光寻址电位传感器相位检测方法相比,该方法具有算法复杂度低、实时性高的优点.实验研究了调制光源光强对光寻址电位传感器幅度检测和相位检测的影响,对比分析了光寻址电位传感器的传统幅度检测方法与正交相位检波检测方法对pH检测的灵敏度、线性度及信噪比.结果表明,相比于幅度检测方法,调制光源光强对光寻址电位传感器的相位检测影响更小,在频率为10 kHz,pH的范围为1.68~10.01的情况下,相位检测方法比幅度检测方法测得的灵敏度增加了7 mV/pH,精度提高了14.9 mpH,非线性误差减小了0.003%,均方差减少了0.105 1×10-5,信噪比增加了8.282 7 dB.该方法特别适用于弱光下的光寻址电位传感器检测.
光寻址电位传感器 正交检波 相位检测 灵敏度 精度 Light-addressable potentiometric sensor Orthogonal phase detection Phase detection sensitivity Precision 
光子学报
2020, 49(4): 0423002
景亚冬 1,1王可宁 1,1冯嘉双 1,1张雄星 1,1王伟 1,1,2,2,*
作者单位
摘要
1 西安工业大学 光电工程学院, 西安 710021
2 陕西省组合与智能导航重点实验室, 西安 710068
针对激光多普勒加速度测量系统信号信噪比较差的问题,提出了一种采用数字相关鉴相算法进行加速度解调的方法.使用数字相关鉴相算法计算激光多普勒加速度测量系统中两路干涉信号的相位差,再由相位差的变化率来计算目标加速度,从而实现运动物体加速度的连续测量.仿真结果表明:该算法在信噪比为20 dB时,加速度测量的误差为0.135 m/s2,分辨率为7.3×10-3 m/s2.搭建了激光多普勒加速度测量系统,对压电陶瓷振荡器的加速度进行测量,加速度的测量误差为0.13 m/s2.测量结果表明,该算法能够有效减少随机噪声的干扰,提高加速度的测量精度.
光学相干 加速度测量 数字相关鉴相 多普勒效应 相位解调 Optical coherence Acceleration measurement Digital correlation phase detection Doppler effect Phase demodulation 
光子学报
2019, 48(12): 1206003
作者单位
摘要
1 上海大学通信与信息工程学院特种光纤与光接入网省部级共建国家重点实验室培育基地, 上海 200444
2 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
3 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
为实现高灵敏度的外差相位检测,提出了一种基于光外差检测原理的光纤四通道双平衡外差相位检测方法。搭建光纤四通道双平衡外差检测光路,采用1/4波片作为相位检测样品,验证分析了光纤四通道双平衡外差相位检测的性能。分析了外差检测中信号调制频率对相位测量结果的影响,结果表明受限于光电接收器件的响应带宽,过高或过低的调制频率均不能有效检测到相位信息。在实验中,最优的信号调制频率范围为 500.5~1550.5 kHz,实际测得的相位均方根为89.1°,标准差为0.3°。在此基础上,分析了双平衡外差干涉中光纤分束比以及耦合透镜的有效接收口径效应对相位检测的影响。当光纤分束比接近1∶1时,得到了较高信噪比下更加精确的检测结果;通过改变耦合透镜的发射角,验证了有效接收口径对接收信号灵敏度的实际影响。
测量 外差检测 四通道双平衡探测 电光调制 相位检测 
中国激光
2019, 46(9): 0904005
作者单位
摘要
同济大学机械与能源工程学院, 上海 201804
随着手机拍照要求和性能的提升, 相位检测自动对焦(PDAF)类模组广受关注。由于手动方式测试此类模组测试效率低、测量精度低、工人劳动强度大等不足, 结合实际生产情况, 综合机械设计、机械理论、工程材料等相关知识, 通过理论计算与实际模拟相结合的方式, 设计并制造了 1台三工位自动对焦设备, 其实际生产效率能够达到 210 片/h。为了更好地提高工作效率, 进一步将三工位自动对焦测试设备改造成六工位自动对焦设备, 改造后生产效率能够达到 360 片/h, 测试效率提升了 70%左右。
手机摄像模组 多工位自动对焦设备 测试 相位检测自动对焦 mobile camera module multi-station autofocus equipment test phase detection autofocus 
光学仪器
2019, 41(3): 7

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