中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060
针对非标准尺寸的晶块和晶圆在倒角过程中存在崩边、崩缺等问题, 该文通过设计并排式组合夹具和真空吸附盘组件将产品固定, 同时设计45°和弧形刀具, 然后采用单一直线和正偏移路径进行加工。实验结果表明, 与传统的倒角工艺相比, 优化能大幅度地降低倒角过程中产生的崩边、崩缺等问题, 不合格率从14.78%降低到3.09%, 有利于批量生产。
晶体 倒角工艺 崩边 崩缺 批量生产 crystal chamfering process edge collapse crash volume production
针对栅极绝缘层和栅极引线接触处形成过孔倒角造成的一种垂直线不良进行分析和改善。研究气相沉积、干法刻蚀和磁控溅射对过孔倒角的影响, 通过扫描电子显微镜对过孔形貌进行表征, 并用成盒检测设备检测不良发生情况。实验结果表明: 通过过孔刻蚀功率、气压、气体流量的变更可以消除倒角现象, 垂直线不良由1.4%降为0.7%。
垂直线不良 倒角 过孔 vertical line mura undercut via hole
清华大学精密仪器与机械学系激光与光子技术研究室, 北京 100084
采用晶体热键合方法加工制作了YAG/Nd:YAG/YAG单包层平板波导,波导晶体几何尺寸为12 mm×5 mm×1 mm,其中中心掺杂层Nd:YAG厚度约为0.2 mm,对称外包层YAG厚度约为0.4 mm。采用一种新的抽运方法—棱边倒角面抽运方法对晶体进行抽运:波导晶体的一条12 mm长棱边加工成大小为12 mm×0.3 mm的倒角面,快轴准直抽运激光二极管(LD)发出的抽运光经聚焦后从倒角面入射进入晶体,抽运吸收效率约为82%。激光器谐振腔采用平-平腔,其中全反镜直接在波导晶体端面镀高反膜实现,输出镜尽可能靠近晶体另一端面,腔长约12mm。当输出镜透射率为6.6%,激光二极管抽运光功率约为49.5 W时,得到输出激光功率13.6 W,光-光转换效率约27.5%,导波方向光束质量M2因子1.9。激光器实现了较高的光-光转换效率和较好的导波方向光束质量。
激光技术 固体激光器 棱边倒角面抽运 平板波导固体激光器 热键合
1 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209
2 中国科学院研究生院,北京,100039
为了解决多目标跟踪中数据存储量、运算量大与实时处理之间的矛盾,提出了一种基于倒角算子距离变换的多目标分离方法,分别提取出各个目标的位置和大小信息,再采用五点二次预测估计出下一场目标的位置从而得到目标的运动速度,最后由改进的加权最近邻算法进行目标特征关联.在Xilinx XCV300E + ADI Blackfin 532 DSP平台上实现该算法,试验结果表明能在20ms内完成图像处理输出脱靶量,达到实时处理的要求.实验室模拟多目标交叉运动,能准确跟踪原有目标而不受新进入目标的影响.
多目标跟踪 实时图像处理 倒角 最近邻 Blackfin
