作者单位
摘要
北京邮电大学 信息光子学与光通信国家重点实验室,北京 100876
高速光探测器以获得更高的3 dB带宽为目标,减小器件台面面积能够使结电容降低从而提高带宽,但同时也增大了系统中的光耦合损耗。针对该问题,在高速光探测器衬底背面单片集成微透镜结构是一种有效的解决方案,该结构可通过补偿对准偏差来提高器件的光耦合效率。设计了一种面向数据中心应用的,与1.31 μm光探测器芯片单片集成的InP基微透镜结构;通过热熔法制作微透镜胶型,并利用电感耦合等离子体刻蚀实现微透镜胶型转移,电感耦合等离子体刻蚀过程选择SiCl4和Ar作为刻蚀气体以保证实验的安全性;制备了一种直径90.3 μm、冠高18.5 μm、表面形貌光滑的InP基微透镜结构。单片集成微透镜的PIN光探测器在1.31 μm波长处,入射光偏离主光轴3°的情况下,光探测器的响应度仅下降4%。
集成微透镜 光探测器 微透镜胶型 热熔法 电感耦合等离子体刻蚀 Integrated microlens Photodetector Microlens photoresist type Melt method Inductive Coupled Plasma etching 
光子学报
2023, 52(8): 0823001
作者单位
摘要
1 西北工业大学, 辐射探测材料与器件工信部重点实验室, 西安 710072
2 西北工业大学深圳研究院, 深圳 518063
自2004年发现石墨烯以来, 二维材料以其丰富的带隙结构、独特的光电特性和无悬挂键的范德瓦耳斯表面等, 极大地拓宽了半导体电子、光电子器件的设计维度。其中二维硒化铟材料成为最具竞争力的未来高迁移率光电子器件用候选材料, 被诺贝尔奖获得者Andre Geim认为是“硅和石墨烯的‘黄金分割点’”。但人们对二维硒化铟材料的研究仅有不到十年的时间, 对其制备及应用的认识仍然不足。本文综述了二维硒化铟材料及其光电器件的研究现状。另外, 考虑到目前绝大多数二维硒化铟材料的研究是基于块状单晶体材料的机械剥离开始的, 因此本文首先回顾了硒化铟晶体结构的认识及其制备方法的发展历程, 在此基础上综述了二维硒化铟材料制备及其性能表征的前沿研究结果, 探讨了器件结构、材料制备方法等因素对二维硒化铟场效应晶体管和光探测器电学输运特性的影响, 最后分析了未来硒化铟材料及器件应用面临的机遇与挑战。
二维材料 硒化铟 晶体生长 场效应晶体管 光探测器 two-dimensional material indium selenide crystal growth field-effect transistor photodetector 
人工晶体学报
2022, 51(9-10): 1703
作者单位
摘要
1 泉州师范学院物理与信息工程学院 福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建 泉州 362000
2 泉州师范学院 化工与材料学院,福建 泉州 362000
制备了平面结构2D/3D混合钙钛矿(PEA)0.15FA0.85SnI3/SnO2异质结光探测器。研究发现,SnO2薄膜的引入可以调控(PEA)0.15FA0.85SnI3薄膜的晶体生长过程,有助于获得致密的连续薄膜。在520 nm单色光辐照下,器件的响应度高达3.19×105 A/W,相应的探测率为6.39×1015 Jones。在808 nm单色光辐照下,器件的响应度和探测器率也可分别达到1.70×104 A/W和7.28×1013 Jones。相关性能明显高于(PEA)0.15FA0.85SnI3单层薄膜光探测器。器件性能的提高一方面是由于钙钛矿薄膜表面形貌的改善,提高了器件的吸收效率和载流子收集效率;另一方面是由于(PEA)0.15FA0.85SnI3和SnO2之间形成了p?n结结构,从而有效提高了钙钛矿薄膜中的光生电子?空穴对的分离效率,降低了电子和空穴的复合几率。同时,(PEA)0.15FA0.85SnI3/SnO2界面处特殊的能级结构也可诱导器件产生光电导增益。
光探测器 Sn基钙钛矿 异质结 2D/3D混合结构 SnO2 photodetector Sn perovskite heterojunction 2D/3D hybrid structure SnO2 
发光学报
2022, 43(7): 1121
作者单位
摘要
清华大学 电子工程系/北京信息科学与技术国家研究中心, 北京 100084
超宽带光电子芯片是下一代无线通信、先进电子信息装备中光纤传输与信号处理的关键元器件, 芯片中光子、电子、电磁场之间的相互作用是决定芯片性能的核心因素。文章通过介绍超宽带光电探测器芯片、电光调制器芯片等方面的研究进展, 分享课题组在破解上述核心科学问题、提高芯片性能的关键技术方案。
光电子芯片 光探测器 电光调制器 optoelectronic devices photodetectors optical modulators 
半导体光电
2022, 43(1): 56
作者单位
摘要
清华大学 电子工程系 北京信息科学与技术国家研究中心,北京 100084
超宽带单行载流子(UTC)光电探测器因其仅需快速的电子输运过程,较传统PIN探测器具有明显宽带优势,是6G宽带无线通信、太赫兹成像、超宽带噪声发生器等亚太赫兹频段系统中的核心光电子器件之一。面向亚太赫兹频段光电转换需求,针对UTC探测器中大带宽与高饱和功率之间的矛盾问题,分别研究并突破了光生载流子高速输运机理、感性共面波导器件(CPW)结构等关键技术,研制成功带宽106 GHz、饱和输出功率7.3 dBm的双漂移层结构MUTC探测器芯片,和带宽超过150 GHz的超宽带MUTC探测器芯片。
光探测器 单行载流子结构 亚太赫兹 高饱和功率 photodetector uni-traveling carrier structure sub-terahertz high saturation power 
红外与激光工程
2021, 50(7): 20211052
作者单位
摘要
北京工业大学 光电子教育部重点实验室, 北京 100124
利用GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)的栅控特性和铁电体的光伏效应机制, 制备了一种新型(光敏感层/HEMT)光探测器件。主要研究了复合薄膜和溅射气氛对光敏感薄膜的光伏性能以及对新型感光栅极探测器的光探测能力的影响。结果表明, PZT/ZnO复合薄膜的量子效率峰值达到14.55%; 有氧氛围下制备的PZT薄膜剩余极化强度达到52.31μC/cm2; 沉积PZT/ZnO复合薄膜的探测器在紫外光照下相比于暗场下的源漏饱和电流最多增加12.64mA。可见, 所制备的新型探测器对紫外光具有优良的探测能力, 为光探测的研究提供了新的方向。
氮化镓 铁电体 光伏效应 紫外光 光探测器 GaN ferroelectric photovoltaic effect ultraviolet light photodetector 
半导体光电
2021, 42(1): 20
作者单位
摘要
1 中国科学院云南天文台,云南 昆明 650216
2 中国科学院云南天文台,云南 昆明 650216;中国科学院大学,北京 100049
3 南京大学 电子科学与工程学院,江苏 南京 210023
超导纳米线单光子探测器是一种新型的单光子探测器,灵敏度高、暗计数低且可工作于恒流模式,对1064 nm波长激光具有较高的探测效率。将该探测器应用于夜间卫星和空间碎片激光测距试验,获得了较好的观测结果。为了使超导探测器的优点在空间目标激光测距中得到充分的应用,通过卫星白天激光测距观测试验以及对白天天空背景光实际响应输出测量等方法,研究分析了超导探测器应用于白天激光测距的可行性。在日落前测到了约20 000 km距离的导航卫星glonass134以及低轨卫星hy2a;实际白天天空背景光测量时,单光子超导探测器最高计数输出可达到约2 MHz。结果表明,使用超导单光子探测器作为回波探测器可实现高性能和高效率的白天激光测距系统。
测量与计量 激光测距 超导单光探测器 白天激光测距 measurement and metrology laser ranging super-conduct single photon detector daytime laser ranging 
红外与激光工程
2020, 49(8): 20190536
作者单位
摘要
1 南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院, 江苏 南京 210003
2 金陵科技学院网络与通信工程学院, 江苏 南京 211169
提出了一种通过相干平衡探测抑制ROF链路输出信号噪声的方法。此方法通过引入本振光与信号光进行耦合,输出光通过减法器抑制光信号的直流扰动进而抑制RIN,间接抑制输出信号噪声并提高输出信号的信噪比。通过optisystem仿真发现,当信号光RIN高于本振光RIN时,信号光功率越大相干平衡探测系统输出信号噪声改善效果越好,此时若本振光功率高于信号光功率,则相干平衡探测输出信号信噪比会得到改善。当激光器间存在0.1 GHz频率差时,相干平衡探测输出信号信噪比改善效果会得到提升。平衡探测法相比传统反馈法,可以有效减少外来电信号的接入,总结了平衡探测法抑制roF链路的最佳工作区域和环境,为对该方法后续的研究改进提供了实验参考。
光探测器 光通信 相对强度噪声 噪声抑制 激光器 photodetector optical communication relative intensity noise noise suppression laser 
光学与光电技术
2020, 18(3): 28
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京 100083
二维材料异质结因其特有的层状结构和优异的光响应性质, 被认为具有应用于新一代光探测器件的潜力。二维材料家族具有丰富的种类, 因其能带带隙 范围分布广, 光电响应可覆盖从紫外到红外的波谱范围。另外二维材料层间通过范德瓦尔斯力相结合, 因此理论上可以利用不同二维材料层间的范德瓦尔斯力 相互作用制备出多种性能优异的二维材料异质结。近年来有多种二维材料异质结通过机械堆叠法及CVD生长法被制备出来, 且二维材料异质结光探测器在可见 光至远红外波段表现出优异的性质。在这样的研究背景之下, 本文从二维材料异质结的制备、器件制备与器件性能等几个方面综述了近年来二维材料异质结光 探测器的研究进展。
二维材料 异质结 光探测器 two-dimensional material heterostructure photodetector 
人工晶体学报
2020, 49(3): 379
作者单位
摘要
运城学院 物理与电子工程系, 山西 运城 044000
采用热注入法制备空气稳定性良好的CsPbBrI2量子点,以375 nm的脉冲激光作为激发光源研究其光致发光性能.通过旋涂的方式制备相应薄膜,将其作为光敏层应用到光探测器,并对器件的光电子性能和稳定性进行详细研究.结果表明:CsPbBrI2量子点在635 nm附近有强烈的荧光效应,光谱发光峰较窄,半峰宽约为35 nm.CsPbBrI2量子点禁带宽度为1.90 eV,制备的探测器光检测带宽从紫外光260 nm到红光650 nm,光响应度为0.26 A/W,高开/关比高达104,上升/衰减时间为3.5 ms/3.5 ms.在25℃,湿度在25%~35%大气环境下存储60天,性能与初始值相比几乎没有变化.CsPbBrI2量子点具有优异的稳定性、可制备高性能的宽带光检测和易于制造等优点,具备一定的应用前景.
量子点 光探测器 热注入法 钙钛矿 光响应 Quantum dots Photodetector Perovskite CsPbBrI2 CsPbBrI2 Photoresponse 
光子学报
2020, 49(1): 0123002

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