1 浙江工业大学机械工程学院, 浙江 杭州 310014
2 浙江师范大学工学院, 浙江 金华 321004
亚表面损伤(SSD)的系统表征和准确检测是控制光学材料加工表层损伤的关键。将SSD的表征方法和检测技术相结合, 综述了光学材料SSD检测评价方法的研究进展; 分析了超精密加工产生的SSD结构和表征参量; 针对SSD的几何表征参量, 介绍了几种典型的损伤性检测技术及其技术特点和适用范围; 重点介绍了几种满足超精密加工检测要求的无损伤检测技术, 并分析了其技术优势和发展瓶颈; 对比了国内外SSD的表征与检测技术水平, 并对SSD检测技术的发展趋势进行了展望。
材料 亚表面损伤 损伤表征 损伤性检测 无损伤检测 激光与光电子学进展
2017, 54(10): 100003
哈尔滨工业大学 机电工程学院, 哈尔滨 150001
在磨削、研磨和抛光加工过程中产生的微裂纹、划痕、残余应力等亚表面缺陷会导致熔石英元件抗激光损伤能力下降,如何快速、准确地检测亚表面损伤成为光学领域亟待解决的关键问题。采用HF酸蚀刻法、角度抛光法和磁流变斜面抛光法对熔石英元件在研磨加工中产生的亚表面缺陷形貌特征及损伤深度进行了检测和对比分析,结果表明,不同检测方法得到的亚表层损伤深度的检测结果存在一定差异,HF酸蚀刻法检测得到的亚表面损伤深度要比角度抛光法和磁流变斜面抛光法检测结果大一些。且采用的磨粒粒径越大,试件表面及亚表面的脆性断裂现象越严重,亚表面缺陷层深度越大。
熔石英元件 亚表面缺陷 研磨加工 损伤性检测 亚表面裂纹 fused silica optics subsurface defects lapping destructive detection subsurface cracks 强激光与粒子束
2014, 26(12): 122008
