压电与声光, 2023, 45 (1): 18, 网络出版: 2023-04-07
高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备
Simulation and Preparation of Thin Film Bulk Acoustic Resonator with High Quality Factor
基本信息
| DOI: | 10.11977/j.issn.1004-2474.2023.01.004 |
| 中图分类号: | TN65 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 广东省重点领域研发计划项目 (No. 2019B010129001) |
| 收稿日期: | 2022-06-07 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2023-04-07 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
赵利帅, 衣新燕, 欧阳佩东, 张铁林, 刘红斌, 李国强. 高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备[J]. 压电与声光, 2023, 45(1): 18. ZHAO Lishuai, YI Xinyan, OUYANG Peidong, ZHANG Tielin, LIU Hongbin, LI Guoqiang. Simulation and Preparation of Thin Film Bulk Acoustic Resonator with High Quality Factor[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2023, 45(1): 18.
PDF全文
