压电与声光, 2023, 45 (1): 18, 网络出版: 2023-04-07
高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备
Simulation and Preparation of Thin Film Bulk Acoustic Resonator with High Quality Factor
薄膜体声波谐振器 反射层 输入阻抗 有限元 thin film bulk acoustic resonator reflection layer input impedance AlN AlN finite element
知识挖掘
相关论文
2023年
2023年
2023年
2023年
2023年
2023年
2022年
2022年
2022年
2021年
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
235篇
131篇
61篇
15篇
5篇
3篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
赵利帅, 衣新燕, 欧阳佩东, 张铁林, 刘红斌, 李国强. 高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备[J]. 压电与声光, 2023, 45(1): 18. ZHAO Lishuai, YI Xinyan, OUYANG Peidong, ZHANG Tielin, LIU Hongbin, LI Guoqiang. Simulation and Preparation of Thin Film Bulk Acoustic Resonator with High Quality Factor[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2023, 45(1): 18.