基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究

袁宇鑫; 武庆鹏; 孙立; 孙科学; 王艳

doi:doi:10.11977/j.issn.1004-2474.2023.01.003

压电与声光, 2023, 45 (1): 11, 网络出版: 2023-04-07

基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究

Study on Characteristics of Rayleigh Wave Devices with Layered Layout Structure of IDTs Electrode

袁宇鑫武庆鹏孙立孙科学王艳

作者单位

南京邮电大学电子与光学工程学院、柔性电子(未来技术)学院, 江苏南京 210009

图 & 表

袁宇鑫, 武庆鹏, 孙立, 孙科学, 王艳. 基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究[J]. 压电与声光, 2023, 45(1): 11. YUAN Yuxin, WU Qingpeng, SUN Li, SUN Kexue, WANG Yan. Study on Characteristics of Rayleigh Wave Devices with Layered Layout Structure of IDTs Electrode[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2023, 45(1): 11.