光学仪器, 2023, 45 (1): 80, 网络出版: 2023-03-20
基于柔性掩膜板制备半导体场效应管
Fabrication of semiconductor field effect transistor based on a flexible stencil
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1005-5630.2023.001.012 |
| 中图分类号: | O 472+.4 |
| 栏目: | 工 艺 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2022-03-18 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2023-03-20 |
| 通讯作者: | 于佳鑫 (yujiaxin@usst.edu.cn) |
| 备注: | -- |
靳亚茹, 于佳鑫. 基于柔性掩膜板制备半导体场效应管[J]. 光学仪器, 2023, 45(1): 80. Yaru JIN, Jiaxin YU. Fabrication of semiconductor field effect transistor based on a flexible stencil[J]. Optical Instruments, 2023, 45(1): 80.
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