作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
为克服传统制备半导体场效应晶体管(FET)过程中存在的材料损伤、对准精度受限、电极转移难度大和成本高昂等缺陷,提出了一种基于柔性掩膜技术的半导体FET制备方法。利用紫外光刻技术制作柔性掩膜板,直接捞取并加热蒸干固定掩膜板,采用离子束溅射法沉积金属,并通过将半导体CdSe纳米带转移到电极上,获得了N沟道耗尽型FET,证实了器件的功能性和此方法的可行性。此技术成本低廉,且材料损伤小,为制备集成半导体器件提供了一种新的思路。
半导体 场效应晶体管 掩膜板 semiconductor field effect transistor stencil 
光学仪器
2023, 45(1): 80
作者单位
摘要
1 西藏农牧学院高原生态研究所, 西藏 林芝 860000
3 北京林业大学精准林业北京重点实验室, 北京 100083
4 石家庄市林业局滹沱河国有林场, 河北 石家庄 050000
5 中国消防救援学院森林草原防灭火研究中心, 北京 102202
森林生态系统水源涵养具有调节气候, 维持生态水平衡等生态功能。 青藏高原作为高寒地区, 由于其高海拔, 环境恶劣的特征, 无法实地人工观测水源涵养量。 为更好地获取高寒地区的水源涵养量, 通过遥感反演的方式得到特定地区的水源涵养价值量。 以林芝巴宜区为研究区, 研究区内林芝云杉、 高山栎、 高山松和雪层杜鹃四种植被为主要树种, 遥感影像无法直接获得水源涵养信息, 但可以通过构建植被叶片光谱信息与水源涵养量之间的定量关系来反演水源涵养价值量。 研究不同植被与水源涵养量的定量关系, 每种植被采集10个样点共1 000个叶片样本和水源涵养数据, 利用ASD光谱仪获取高光谱数据, 通过相关性选取拟合参数, 构建水源涵养回归模型。 利用Sentinel-2遥感影像反演研究区内植被的水源涵养分布, 并对反演结果进行验证。 结果表明, 四类植被叶片的反射光谱, 均呈现出相似的规律性, 在可见光波段差异不明显, 近红外到中红外波段呈现出明显四个水吸收带, 在红光到近红外波段(700~1 400 nm)反射率最高。 光谱反射率大小表现为高山栎>高山松>林芝云杉≈雪层杜鹃。 通过实验获取植被冠层截流量、 枯落物持水量和土壤含水量, 三者之和代表植被的水源涵养量, 分析植被的光谱特征与水源涵养量的关系, 并通过Pearson系数评价波段参数与水源涵养的定量化关系, 确定R540, R1 950, NDWI和NDVI四个参数与水源涵养量显著相关。 根据上述参数与四类植被的水源涵养量构建水源涵养回归模型, 并通过模型反演研究区内植被水源涵养量, 检验模拟精度, 整体反演精度R2大于0.7, RMSE基本小于10, 说明预测模型反演效果较好, 模型可有效估算森林生态系统的水源涵养量。
高寒山地区 水源涵养 高光谱 预测模型 遥感反演 Alpine mountain area Water conservation Hyperspectral Prediction model Remote sensing inversion 
光谱学与光谱分析
2022, 42(2): 530
作者单位
摘要
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093
回音壁模式(WGM)光学微球腔,因具有传播模式稳定闭合、光能量密度极高、结构简单、易于制备等特点,在微球激光的应用上受到广泛关注。不同物理尺寸的微球腔对应的模式特征也大不相同,这一特性被应用于光学传感器、非线性光学等领域。通过二维时域有限差分法(2D-FDTD)对二氧化硅微球进行理论模拟,分析了球腔在不同模式下的电场分布,以及不同直径下的模式有效折射率、品质因子(Q值)的变化。根据模拟结果推断,理论上能形成具有稳定模式的激光最小直径约为7.8 μm。这对于WGM微球腔激光的应用具有重要意义。
回音壁模式(WGM) 微球腔 最小直径 whispering gallery mode (WGM) microsphere cavity minimum size 
光学仪器
2021, 43(4): 28
作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
为了提升单层硒化钨(WSe2)薄膜的制备质量,在传统化学气相沉积(CVD)法制备的基础上进行改进,通过引入推拉式小车来制备单层WSe2薄膜,从而构造出可以调控沉积区域、精确控制生长时间,并可实现快速降温的生长方式。采用光学显微镜和原子力显微镜来表征制备材料的尺寸、荧光强度、形貌结构等特性,证明了利用推拉式小车法可成功制备出高质量的单层WSe2薄膜。推拉式小车法可以稳定制备大面积、高质量、单层的WSe2薄膜,为其在信息、能源、生物等前沿领域的应用提供参考。
单层WSe2薄膜 化学气相沉积法 高质量 推拉式小车 monolayer WSe2 film chemical vapor deposition high quality trolley 
光学仪器
2020, 42(4): 88
作者单位
摘要
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093
过渡金属硫系化合物二维材料因其体积小、直接带隙发光等特点,可作为微纳光学结构的优异介质材料而受到广泛关注。通过转移法得到的二维材料微纳光学结构,如光学微腔、微纳传感器等,容易引起材料污染和破损,对结构的功能特性影响很大。通过化学气相沉积法(CVD),将硒化钨直接沉积在6 μm直径的二氧化硅(SiO2)微球上,对微球上的材料进行成分表征,证明在微球上生长出了二维材料硒化钨,且证明了通过化学气相沉积法在曲面上沉积二维材料是可行的。这种化学气相沉积法直接生长的二维材料微纳球腔,有望应用于高性能光学传感器和微纳光源器件中。
化学气相沉积法 二氧化硅微球 硒化钨 chemical vapor deposition (CVD) Silica microspheres WSe2 
光学仪器
2020, 42(4): 41
Author Affiliations
Abstract
Laboratory of Integrated Opto-Mechanics and Electronics, Shanghai Key Laboratory of Modern Optical System, Engineering Research Center of Optical Instrument and System (Ministry of Education), University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China
We demonstrate an effective approach of mode suppression by simply using a tungsten probe to destroy the external neck surface of polymer microbottle resonators. The higher-order bottle modes with large axial orders, spatially located around the neck surface of the microresonator, will suffer large optical losses. Thus, excitation just with an ordinary free-space light beam will ensure direct generation of single fundamental bottle mode lasers. This method is with very low cost and convenient and can obtain high side-mode suppression factors. Our work demonstrated here may have promising applications such as in lasing and sensing devices.
140.3570 Lasers, single-mode 140.3945 Microcavities 160.5470 Polymers 
Chinese Optics Letters
2019, 17(12): 121401

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