1 南京师范大学 电气与自动化工程学院，江苏 南京 210023
2 苏州大学 文正学院，江苏 苏州 215104
针对精密仪器及微小型设备对线性微进给驱动马达的需求，该文设计了一种封闭式柱形微型惯性冲击压电马达，并验证了马达工作原理的可行性。制作出马达样机并进行实验测试，结果表明，施加预紧力为0.25 N，驱动信号锯齿波电压峰-峰值为50 V，频率为500 Hz时，马达空载输出最大速度为6.19 mm/s，步进分辨率为12 μm；施加预紧力为0.5 N，驱动信号电压峰-峰值为50 V，频率为500 Hz时，最大负载为20 g。
压电马达 压电叠堆 惯性冲击 锯齿波 piezoelectric motor piezoelectric stack inertial impact sawtooth wave
