赵会宁 1,2,*闻杰 1,2夏豪杰 1,2,*
作者单位
摘要
1 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009
2 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥30009
针对具有精密旋转轴系类的高端制造装备或精密测量仪器,其旋转角度采用传统圆光栅难以消除偏心误差对测量角度精度的影响,提出了一种基于二维混合式位置编码的旋转角度高精度测量方法。该测角系统由一个二维混合式位置编码盘、两个CCD相机和远心镜头组成,二维混合式位置编码盘被固定在精密旋转轴系上以获得其旋转角度。然后,建立了测角模型并从数学上证明了测角精度与安装偏心无关。利用多齿分度台对已提出测角系统精度进行检测,测量角度误差在±1″。最后,利用已提出测量方法对直驱转台的角度定位精度进行测量,角度定位误差在±5″内。与传统圆光栅测角相比,该方法不需要考虑安装偏心误差对测角精度的影响,具有稳定性好、使用简单等特点,可用于角度定位误差的检测。
二维混合式位置编码 偏心误差 旋转角度 多齿分度台 two-dimensional hybrid position coding eccentricity error rotation angle multi-tooth indexing table 
光学 精密工程
2024, 32(5): 635
傅扬伟 1,2张进 1,2,3,*孙珍惜 1,2张瑞 1,2[ ... ]夏豪杰 1,2,3
作者单位
摘要
1 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009
2 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥30009
3 教育部安全关键工业测控技术工程研究中心,安徽合肥20009
微器件广泛应用于电子工业。由于衍射效应,微器件的物理边缘与光学边缘不一致,这给检测和测量带来了挑战。为提高微目标检测与测量精度,本文将图像超分辨率重建与目标测量结合,提出了一种基于边缘增强的图像超分辨率重建算法并搭建了对应的测量系统。首先提出了一种新的图像超分辨率重建质量评价参数,证明了图像超分辨率重建提高目标测量精度的可行性。针对目标边缘,将通道注意力机制引入网络,增强了网络对图像边缘的重建能力。最后,设计并搭建了目标测量系统,并进行了实验。结果表明:在公开数据集上,本文算法能取得更高的峰值信噪比(PSNR)和结构相似性(SSIM)等客观指标值;在实际测量中,本文算法可将原有测量系统极限分辨率提高25.9%,目标测量精度平均提高51.6%。本文研究为工业生产中的微目标检测和测量提供了一个潜在的发展方向。
深度学习 图像超分辨率 计算机视觉 边缘检测 亚像素 deep learning image super-resolution computer vision edge detection subpixel 
光学 精密工程
2023, 31(6): 962
Author Affiliations
Abstract
1 Anhui Provincial Key Laboratory of Measuring Theory and Precision Instrument, School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China
2 School of Electrical Engineering and Automation, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China
We investigate the mechanisms to realize the Raman laser switching in a silica rod microresonator with mode-interaction-assisted excitation. The laser switching can be triggered between two whispering gallery modes (WGMs) with either the same or distinct mode families, depending on the pumping conditions. The experimental observations are in excellent agreement with a theoretical analysis based on coupled-mode equations with intermodal interaction terms involved. Additionally, we also demonstrate switching of a single-mode Raman laser and a wideband spectral tuning range up to 32.67 nm by selective excitation of distinct mode sequences. The results contribute to the understanding of Raman lasing formation dynamics via interaction with transverse mode sequences and may extend the microcavity-based Raman microlasers to potential areas in switchable light sources, optical memories, and high sensitivity sensors.
nonlinear optics devices Raman laser microresonators 
Chinese Optics Letters
2023, 21(3): 031407
作者单位
摘要
1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室, 安徽 合肥230009
2 中国石油大学(华东)控制科学与工程学院, 山东 青岛 266580
液体活检是近些年新兴的体外诊断技术, 通过从肿瘤患者外周血中筛选出肿瘤细胞来检测和分析其上携带的各种生命信息, 具有便捷、侵入性小、检测精度高等特点。循环肿瘤细胞(Circulating Tumor Cells, CTCs)作为液体活检的重要标志物之一, 对于癌症的早期检测、疗效评估以及预后监测具有重要意义。但是血液中CTCs的含量非常少, 通常每毫升血液中仅含有1~10个CTCs, 还有数以百亿计的血细胞, 所以CTCs的富集以及筛选是液体活检中的难题, 对CTCs所携带的生命信息进行解析是关键。总结了经典的CTCs分离方法并重点概括了CTCs的检测技术。
液体活检 微流控技术 循环肿瘤细胞(CTCs) 表面增强拉曼散射 检测技术 liquid biopsy microfluidics technology circulating tumor cells surface enhancement of Raman scattering detection technology 
光学与光电技术
2022, 20(4): 1
作者单位
摘要
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室, 安徽合肥230009
为了实现超高分辨力的微位移测量,建立了基于光纤布拉格光栅传感的高灵敏度探针系统,研究了静态锁相放大技术,用于检测小于纳米量级的微位移信号。根据光纤布拉格光栅传感原理,设计了高灵敏度的双光栅自补偿解调系统结构。基于信号特征研究了静态锁相放大技术,用于实时检测处理微弱测量信号。最后,通过探针系统的性能测试实验可获得灵敏度和分辨力等参数。实验结果表明:探针系统在接触区域的微位移测量范围约为1 μm,灵敏度为-15.33 mV/nm,短期噪声极差的均值为0.83 mV,标准差为0.32 mV,信号处理分辨力约为0.06 nm60 pm),其标准差为0.02 nm20 pm)。该系统采用光纤布拉格光栅传感技术达到了皮米量级的微位移信号处理分辨力,满足微纳测量系统的抗干扰性强、重复性好等要求,且系统成本较低。
光纤布拉格光栅 微位移测量 信号处理分辨力 皮米量级 高灵敏度探针系统 静态锁相放大 Fiber Bragg Grating(FBG) micro-displacement measurement signal processing resolution picometers level high-sensitivity probe system static phase-locked amplification 
光学 精密工程
2022, 30(7): 755
常松涛 1,2夏豪杰 1,2,*
作者单位
摘要
1 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009
2 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥30009
时间延迟积分(Time Delay Integration, TDI)图像传感器具有高速、高灵敏度等特点,广泛应用于高通量、大视场的荧光显微成像系统中。显微物镜视场内响应均匀是精确获取荧光能量分布的基础,为提高系统成像质量和测量准确度,研究了适用于TDI荧光显微成像系统的平场校正或响应非均匀性校正方法。根据TDI荧光成像系统的工作原理推导激光诱导荧光成像模型,分析图像均匀性退化机理。提出一种基于微阵列生物芯片的两步式校正方法,将系统响应非均匀性分为高频和低频部分分别校正,高频部分采用传统的两点校正方法,低频部分采用微阵列生物芯片校正。基于高通量TDI荧光显微成像系统开展实验,执行并验证本文的校正方法。实验结果表明:本文方法将TDI荧光成像系统的响应非均匀性由25.21%降低至2.87%,显著提高了系统性能。本文提出的校正方法能够满足TDI荧光显微成像系统的平场校正需求,具有一定的应用价值。
荧光显微成像 时间延迟积分 非均匀性校正 微阵列生物芯片 fluorescence microscopy imaging time delay integration nonuniformity correction microarray biochip 
光学 精密工程
2022, 30(5): 527
徐霜艳 1,2张进 1,2,*万杰 1,2夏豪杰 1,2纪峰 1,2
作者单位
摘要
1 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009
2 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥30009
对于高温下的视觉测量,如何降低高温构件本身发出的辐射以及热气流对图像质量的影响,在航空航天和汽车制造等领域具有重要意义。针对高温下复杂的光学成像环境,本文提出了一种基于单像素成像技术的高温构件图像采集方法,建立了高温构件单像素成像系统,分析了傅里叶单像素成像的工作原理及重建算法,根据高温物体的热辐射特性分析了其对单像素成像的影响及成像光谱范围。最后,对高温环境中的单像素成像进行了验证实验。实验结果表明:仅用30%的采样数据就可以对高温下的目标构件成像,且忽略了高温物体自身辐射光的强干扰。与传统CCD/CMOS的成像及边缘检测对比实验表明,本文的方法获取的图像特征更为清晰。该研究为单像素成像在高温构件工业领域的应用提供了一个潜在的发展方向。
单像素成像 高温 热辐射 光干扰 single-pixel imaging high temperature thermal radiation light interference 
光学 精密工程
2021, 29(8): 1804
作者单位
摘要
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
激光干涉测量技术作为超精密测量的重要手段, 为实现亚纳米级测量分辨力, 通常对干涉周期信号进行数百倍甚至上千倍的插值细分, 引入分辨力有效性问题。本文基于涡旋光束的螺旋相位特性, 搭建高精度共轭涡旋光干涉位移测量结构, 将被测直线位移量与干涉图案绕中心旋转角度建立线性传感关系。信号采集与处理中基于干涉信号特点, 结合高速光电探测器进行干涉图案周期计数与相机进行低速干涉图案图像细分, 对干涉图案自身进行空间等角度细分, 有效降低后继周期信号的细分倍数并提高测量分辨力可靠性, 以保证涡旋光干涉信号实时处理系统的亚纳米量级测量精度。搭建涡旋光束拓扑荷数为4的干涉测量实验测试系统, 理论上干涉图案旋转1°对应的被测位移量为0.88 nm, 设计基于LabVIEW的信号实时采集和处理系统并进行测量分辨力测试与误差分析, 在实验室条件下分辨力优于0.5 nm。
光电检测 涡旋光干涉 纳米测量 图像处理 photoelectric detection vortex beam interferometry nano-displacement measurement image processing 
光学 精密工程
2020, 28(9): 1905
作者单位
摘要
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
为了提高单频激光干涉仪正交信号相位细分辨向的可靠性与重复性, 本文在正交信号Heydemann误差模型和数字信号处理技术的基础上, 提出一种结合误差修正和相位细分辨向技术的正交信号高精度误差补偿算法。该算法采用基于最小二乘法的矩阵运算计算正交误差补偿参数初值, 通过迭代运算进一步提高补偿精度, 并对修正后的信号构建了基于相位的细分辨向算法。最后通过MATLAB软件对该算法进行了验证。实验结果表明, 上述算法可实现对正交信号误差的精确补偿, 使测量精度可达亚纳米甚至皮米数量级, 从而有效提高测量信号的解调精度。
单频激光干涉仪 正交信号 误差补偿 细分辨向 测量精度 homodyne interferometer quadrature signals error compensation counting and subdivision measurement accuracy 
光学 精密工程
2017, 25(9): 2309
作者单位
摘要
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009
在车间条件下操作时, 光栅干涉仪在测量精度方面优于He-Ne激光干涉仪。基于光栅干涉测量系统有一些特别的优点, 导致其在高精密测量中用途不断增加。阐述了衍射式光栅干涉测量系统的工作原理和特点, 同时详细总结了国际上生产和研究衍射光栅干涉测量系统的厂家和研究机构及他们的产品。并指出该系统的发展趋势和存在的问题, 为衍射式光栅测量系统的研究和发展提供参考。
光学测量 衍射光栅 位移测量 干涉 发展现状 optical measurement diffraction grating displacement measurement interference research status 
光学技术
2011, 37(3): 313

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