光子学报
2023, 52(10): 1052402
1 大连理工大学光电工程与仪器科学学院,辽宁 大连 116024
2 河北工程大学数理科学与工程学院,河北 邯郸 056038
光声光谱技术作为一种超高灵敏度的气体检测技术,声波传感器作为核心部件直接影响着系统的体积和检测极限。传统光声光谱技术使用电容式麦克风作为声波探测单元,但该器件的电学特性易受到高温环境和电磁干扰影响。在全光学光声光谱系统中,利用光学声波传感器对光声信号进行探测,避免了电子探测元件的使用,具有环境适应性强、灵敏度高等优点,且系统中全光学的设计可以极大地减小光声传感单元的体积。综述了基于干涉型光学声波传感器的全光学光声光谱气体传感技术的研究进展,并展望了其未来的发展方向。
光谱学 光声光谱 全光学设计 气体检测 光纤声波传感 光学学报
2023, 43(18): 1899911
1 天津工业大学电子与信息工程学院,天津300384
2 天津环鑫科技发展有限公司,天津300384
垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS)器件是一种以多子为载流子的器件,具有开关速度快、开关损耗小、输入阻抗高、工作频率高以及热稳定性好等特点。提出一款60 V 平面栅VDMOS 器件的设计与制造方法,开发出一种新结构方案,通过减少一层终端层版图的光刻,将终端结构与有源区结构结合在一张光刻版上,并在终端工艺中设计了一种改善终端耐压的钝化结构,通过使用聚酰亚胺光刻胶(PI)钝化工艺代替传统的氮化硅钝化层。测试结果表明产品满足设计要求,以期为其他规格的芯片设计提供一种新的设计思路。
功率器件 垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS) 终端结构 击穿电压 钝化工艺 power device Vertical Double-diffused Metal Oxide Semiconductor terminal structure breakdown voltage passivation process 太赫兹科学与电子信息学报
2022, 20(4): 402
电子科技大学 自动化工程学院, 四川 成都 611731
石英晶体微天平(QCM)是一种高灵敏度的传感器, 通过建立QCM参数变化与被测粘弹性薄膜之间的关系, 可以对其进行量化分析及表征。该文基于石英晶体本构方程, 推导了在气相条件下, 不考虑电容效应的粘弹性薄膜吸附的QCM等效BVD模型, 给出了一个关于粘弹性薄膜物理性质的QCM等效参数与频率变化的显式表达, 揭示了粘弹性薄膜的损耗模量和存储模量在气相中产生“额外质量效应”的物理现象。与Arnau给出的EBVD模型相比, 该文推导的BVD模型具有更高的准确度。结果表明, 该模型可被应用于气相粘弹性薄膜的特性分析。
石英晶体微天平 等效BVD模型 粘弹性薄膜 存储模量 损耗模量 quartz crystal microbalance equivalent BVD model viscoelastic film storage modulus loss modulus