张文妮 1,2,3曹红超 1,3孔钒宇 1,3张益彬 1,3[ ... ]邵建达 1,3,4
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室,上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心,北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海 201800
4 中国科学院超强激光科学卓越创新中心,上海 201800
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微结构,其对795 nm光的单面透过率达到99.23%。在此基础上,制备了双面增透微结构和一面增透微结构一面增透膜的蓝宝石窗口片,相较于蓝宝石基底,它们对795 nm光的透过率分别提升了12.13%和13.02%。高功率激光作用温升测试结果表明,当激光功率从35 W增加到99.6 W时,裸基板温度增加了5.9 ℃,但是双面增透样品的温升均为3.8 ℃,表明双面增透处理可以适当降低温升。同时,光束质量测试结果表明,当高功率激光作用下微结构窗口的温度控制在200 ℃以内时,双面增透样品的光束质量因子在横向上的变化小于0.05,在纵向上的变化小于0.06,表明该增透窗口对入射光光束质量的影响甚小。
薄膜 增透微结构 干涉曝光 反应离子束刻蚀 
中国激光
2023, 50(22): 2203101
Jingyin Zhao 1,2,3Yunxia Jin 1,3,4,*Fanyu Kong 1,3Dongbing He 1,3[ ... ]Jianda Shao 1,3,4,5
Author Affiliations
Abstract
1 Thin Film Optics Laboratory, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
2 Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 Key Laboratory of High Power Laser Materials, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
4 CAS Center for Excellence in Ultra-Intense Laser Science, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
5 Hangzhou Institute for Advanced Study, University of Chinese Academy of Sciences, Hangzhou 310024, China
Measuring the topological charge (TC) of optical vortex beams by the edge-diffraction pattern of a single plate is proposed and demonstrated. The diffraction fringes can keep well discernible in a wide three-dimensional range in this method. The redundant fringes of the diffracted fork-shaped pattern in the near-field can determine the TC value, and the orientation of the fork tells the handedness of the vortex. The plate can be opaque or translucent, and the requirement of the translucent plate for TC measurement is analyzed. Measurement of TCs up to ±40 is experimentally demonstrated by subtracting the upper and lower fringe numbers with respect to the center of the light. The plate is easy to get, and this feasible measurement can bring great convenience and efficiency for researchers.
optical vortex orbital angular momentum topological charge measurement 
Chinese Optics Letters
2022, 20(11): 110501
刘畅洋 1,2,3晋云霞 1,3,4,*曹红超 1,3孔钒宇 1,3[ ... ]邵建达 1,3,4
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
4 中国科学院超强激光科学卓越创新中心, 上海 201800
氟化钇薄膜由于具有优良的光学性能常被用于红外波段,通过优化磁控溅射工艺,成功地在锗基底上实现了厚度大于1 μm的氟化钇薄膜的制备,并分析了溅射功率对于氟化钇薄膜光学性能的影响。采用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、傅里叶红外光谱仪和原子力显微镜对样品的物相结构、化学成分、光学常数和表面粗糙度进行了表征和系统分析。研究表明在200 W的溅射功率下能够制备出氧原子数分数低于6%,在2~8 μm波长范围内折射率高于1.6的低吸收氟化钇薄膜。
薄膜 氟化钇薄膜 磁控溅射 溅射功率 折射率 
中国激光
2021, 48(21): 2103001
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所 信息光学实验室, 上海 201800
激光与光电子学进展
2009, 46(2): 29

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