长春大学 机械与车辆工程学院，吉林 长春 130022
为了探究泵腔结构参数对压电气体隔膜泵性能的影响，该文设计了一种压电气体隔膜泵的泵腔结构。首先简述了泵腔的结构设计与工作原理，推导出泵腔出口气流速度的表达式，通过仿真得出泵腔高度、气孔直径对腔体内的瞬时气压、气流速度及气体流量的影响。最后制作了泵腔样机并应用在压电气体隔膜泵中，进行了实验测试及理论分析对比。结果表明，实验结果与理论分析相吻合，输出流量随着腔高的增大而减小，随着气孔直径的增大而增大，这为压电气体微泵的腔体设计提供了理论参考。
压电驱动 隔膜泵 泵腔 气泵 piezoelectric drive diaphragm pump pump cavity gas pump
