大连理工大学 辽宁省微纳米技术与系统重点实验室，辽宁 大连 116024
面向植入式微泵在生物医疗领域的应用需求，为了提高低电压及微型化条件下微泵的输出流量，该文设计了一种双层泵腔压电无阀植入式微泵。基于压电振子的压电耦合仿真以及微泵的电-固-液三相耦合仿真，验证了双层泵腔微泵设计的有效性，并优化了结构及驱动参数。通过实验验证了耦合仿真结果的正确性,并测试了微泵的流量范围。结果表明，微泵最优设计参数：扩散角为30°，颈宽为300 μm，上层泵腔高度为100 μm。微泵的净流量随电压的增大而增大，且适用于低频驱动。实验结果表明，双层泵腔压电无阀微泵的输出流量是传统压电无阀微泵的5.38倍。
压电微泵 双层泵腔 电-固-液耦合 压电耦合 喷嘴扩散器 piezoelectric micropump double-layer pump chamber electric-solid-liquid coupling piezoelectric coupling nozzle diffuser
长春大学 机械与车辆工程学院，吉林 长春 130022
为了探究泵腔结构参数对压电气体隔膜泵性能的影响，该文设计了一种压电气体隔膜泵的泵腔结构。首先简述了泵腔的结构设计与工作原理，推导出泵腔出口气流速度的表达式，通过仿真得出泵腔高度、气孔直径对腔体内的瞬时气压、气流速度及气体流量的影响。最后制作了泵腔样机并应用在压电气体隔膜泵中，进行了实验测试及理论分析对比。结果表明，实验结果与理论分析相吻合，输出流量随着腔高的增大而减小，随着气孔直径的增大而增大，这为压电气体微泵的腔体设计提供了理论参考。
压电驱动 隔膜泵 泵腔 气泵 piezoelectric drive diaphragm pump pump cavity gas pump
