1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术国家地方联合工程中心,吉林 长春 130022
3 季华实验室,广东 佛山 528200
提出了一种融合新型支撑方式与灵敏度分析的光机热集成分析与优化方法,用于设计超高精度深紫外光刻投影物镜系统。首先,采用轴向多点与周向三点胶接支撑相结合的新型支撑方式,实现了212.51 mm口径光学元件的超高精度定位要求。其次,通过对光学元件进行热力耦合分析,验证了光机系统的合理性。然后,在光机热集成分析条件下,分析了单个光学元件的灵敏度,以及全部光学元件表面变形对整体光学系统波像差均方根值和校准F-tan θ(F为焦距,θ为物方视场角)畸变的影响。最后,通过调整部分光学元件的灵敏度进行局部优化,并对整体光学系统的像质进行优化。结果表明:在热力耦合条件(参考温度为22.5 ℃、极限工作温度为±2.5 ℃、重力)下,光学元件的最大表面面型均方根(RMS)值为9.86 nm,能够满足超高精度定位要求。在光机热集成分析条件下(参考温度为22.5 ℃、极限工作温度为±2 ℃、重力),优化后光学系统的波像差RMS值小于10.50 nm,校准F-tan θ畸变小于6.00 nm,相较于优化前,波像差RMS提升了46.98%,校准F-tan θ畸变提升了77.69%,达到了设计要求。
光学设计 结构设计 光机热集成分析 Zernike多项式 有限元分析
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术研究所,吉林 长春 130022
3 鹏城实验室,广东 深圳 518000
导引头在3 Ma(1 Ma≈340.3 m/s)超音速飞行状态下,受到气动加热的光学窗口温度急剧上升,产生大量红外热辐射,干扰探测器的成像质量。为研究气动热辐射对导引头红外成像的影响:采用ANSYS软件对导引头进行三维建模、有限元网格划分及温度场仿真;采用普朗克黑体辐射公式与TracePro软件计算仿真得到的目标源与光学窗口在不同温度下产生的辐照度,建立信噪比模型,分析光学窗口温度及目标相对距离对导引头红外成像质量的影响。实验结果表明,导引头在2、11、20 km海拔高速飞行10 s后,红外成像系统信噪比分别下降了91.8%、50.1%、20.7%,信噪比的下降会严重影响红外系统成像质量,必须使用制冷措施冷却光学窗口以降低干扰。研究结果可为导引头的光学窗口及光学探测系统的设计提供数据参考,为克服气动热辐射干扰的相关研究提供理论依据。
大气光学 气动光学 热辐射 成像质量 光学窗口 激光与光电子学进展
2023, 60(2): 0201001
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术国家地方联合工程研究中心,吉林 长春 130022
3 鹏城实验室,广东 深圳 518000
相干探测混频器是空间相干光通信系统的重要组件,主要作用是将信号光和本振光进行混频得到中频信号,进而对光信号进行放大,使探测器的灵敏度达到量子噪声极限。混频效率对中频信号的强度尤其重要,因此,假设本振光为理想高斯分布时,计算了信号光的不同振幅分布对混频效率的影响。通过设计一组光束整形镜将信号光的振幅分布变为高斯分布,从而实现高斯光和高斯光的相干混频。实验结果表明,带有整形元件的相干探测混频器可实现信号光与本振光相似的振幅分布,且相比均匀分布的信号光,混频效率提高了17个百分点。
相干光学 空间光混频器 混频效率 光束整形 数值模拟 激光与光电子学进展
2021, 58(7): 0706001
红外与激光工程
2021, 50(1): 20200117
长春理工大学 空间光电技术研究所, 长春 130022
针对共口径偏振复用空间激光通信光学天线采用双色分光片分光而浪费高效率波段的问题, 利用偏振分光棱镜、法拉第旋光器等器件设计了一种分光束结构。根据现有空间激光通信器件参数, 分析了空间激光通信系统对分光束结构的隔离度的需求, 计算了该结构的隔离度与光学损耗, 并分析了其适用范围。计算结果表明该结构可以应用于共口径偏振复用空间激光通信光学系统。
光学天线 光学设计 共口径 偏振复用 隔离度 光学损耗 optical antenna optical design common-aperture polarization multiplexing isolation optical attenuation
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 长春理工大学国家地方联合工程研究中心, 吉林 长春 130022
基于微透镜阵列形式设计了新型大视场激光通信接收光学系统,并提出了完整描述微透镜阵列光传输的3×3光学矩阵模型,讨论了各光学元件倾斜角度和偏心对像面高度和出射角度的影响规律。针对微透镜阵列光学系统形式的设计要求,给出了合理的倾斜角度和偏心的公差范围,在完成积分透镜光学系统像差讨论的基础上,采用设计和仿真相结合的方式实现了大视场激光通信接收光学系统设计,并验证了三维矩阵模型的正确性。通过样机研制、匀光测试和视场测试,最终实现了视场角达0.9°、均匀性达86.58%的新型激光通信接收光学系统,实验测试数据与理论仿真数据相吻合。关于激光通信链路方面的讨论分析进一步证明了微透镜阵列光学系统应用在激光通信系统中的可行性和优越性,为激光通信接收光学系统的设计和研制提供了新思路和新方向。
光通信 微透镜阵列 3×3光学矩阵; 光束匀化 链路能量 光学学报
2020, 40(22): 2206003