高伟饶 1,2董科研 1,2,*江伦 1,2
作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 长春理工大学 空间光电技术研究所, 吉林 长春 130022
单波长激光通信终端之间数据通信时,信号传输与接收间良好的隔离性能是建立双工双向激光通信的关键。本文针对单个激光波长激光通信端机的传输与接收方案,以及激光通信终端整体的通信性能,分析了关键元器件的表面粗糙度和表面清洁度水平对激光通信终端隔离性能的影响。通过Harvey模型、ABg模型推导模型参数。利用TracePro软件对所设计的方案进行分析。得出以下结论:当信号传输通道中λ/2波片、λ/4波片和光学天线结构的表面粗糙度变好或者表面清洁度提升时,元件带来的后向散射会降低信号传输通道内的隔离性能。同时,激光通信终端隔离度的测量结果为77.86 dB,与软件仿真结果78.35 dB基本一致,这一结果可以应用于激光通信系统。
激光通信 杂散光分析 隔离度 表面粗糙度 表面清洁度 laser communication stray light analysis isolation roughness contamination level 
中国光学
2023, 16(5): 1137
许维 1,2王盛凯 1,2徐杨 3,4王英辉 4[ ... ]刘洪刚 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所 1. 微电子器件与集成技术重点实验室
2 2. 高频高压器件与集成研发中心
3 中国科学院微电子研究所 2. 高频高压器件与集成研发中心
4 智能感知研发中心, 北京 10009
着重分析了晶圆表面残留颗粒对晶圆键合的影响, 并从表面残留颗粒统计意义的角度, 得到了一个晶圆键合的判定标准。为了改善键合界面出现的气泡问题, 一种基于点压技术的新型点压键合法被应用到整片键合中, 并和传统的金金热压键合法进行了比较。实验表明, 采用点压键合法能够有效抑制晶圆表面残留颗粒对晶圆键合的影响。
晶圆键合 热压键合 点压键合法 表面粗糙度 表面清洁度 wafer bonding thermocompression bonding spot pressing bonding surface roughness surface cleanliness 
半导体光电
2016, 37(6): 809

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