韩星 1,3江伦 1,2,*李延伟 3,**李骏驰 3
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术国家地方联合工程中心,吉林 长春 130022
3 季华实验室,广东 佛山 528200
提出了一种融合新型支撑方式与灵敏度分析的光机热集成分析与优化方法,用于设计超高精度深紫外光刻投影物镜系统。首先,采用轴向多点与周向三点胶接支撑相结合的新型支撑方式,实现了212.51 mm口径光学元件的超高精度定位要求。其次,通过对光学元件进行热力耦合分析,验证了光机系统的合理性。然后,在光机热集成分析条件下,分析了单个光学元件的灵敏度,以及全部光学元件表面变形对整体光学系统波像差均方根值和校准F-tan θF为焦距,θ为物方视场角)畸变的影响。最后,通过调整部分光学元件的灵敏度进行局部优化,并对整体光学系统的像质进行优化。结果表明:在热力耦合条件(参考温度为22.5 ℃、极限工作温度为±2.5 ℃、重力)下,光学元件的最大表面面型均方根(RMS)值为9.86 nm,能够满足超高精度定位要求。在光机热集成分析条件下(参考温度为22.5 ℃、极限工作温度为±2 ℃、重力),优化后光学系统的波像差RMS值小于10.50 nm,校准F-tan θ畸变小于6.00 nm,相较于优化前,波像差RMS提升了46.98%,校准F-tan θ畸变提升了77.69%,达到了设计要求。
光学设计 结构设计 光机热集成分析 Zernike多项式 有限元分析 
光学学报
2024, 44(7): 0722001
作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南 昆明 650223
热成像仪由于工作环境较为恶劣,且自身发热量较大,容易导致热像仪光轴发生热偏移,严重影响其瞄准性能。为了提高红外热像仪的光轴热稳定性,以某型热像仪光轴敏感部件——折转镜为主要研究对象,研究其在不同环境温度条件下的光轴变化情况,并通过构建折转镜的有限元仿真模型以及试验测试系统,获得与试验数据一致性较好的有限元模型;以此为基础,采用基于变密度法的拓扑优化仿真技术,以刚度最大化为设计目标,以体积分数为约束,对折转镜座进行了拓扑优化设计。通过试验测试得出,优化设计的折转镜座的光轴高温偏移量由46.1″减小到25.5″,减小了44.7%,折转镜座的光轴低温偏移量由92.9″减小到51.0″,减小了45.1%,极大地提高了折转镜的光轴热稳定性。最后,将优化后的折转镜安装到某型热像仪中进行整机试验测试,热像仪整机的高温光轴偏移量由0.461 mrad减小到0.340 mrad,下降了26.2%,低温光轴偏移量由0.485 mrad减小到0.296 mrad,下降了39.0%,证明了仿真与拓扑优化模型的可行性与有效性,为后续红外热像仪整机的轻量化设计与性能提升奠定了基础。
结构设计 拓扑优化 红外热像仪 折转镜 光轴热稳定性 structural design topological optimization infrared imager reflective mirror thermal stability of the optical axis 
红外与激光工程
2024, 53(1): 20230358
作者单位
摘要
长春理工大学 光电工程学院,吉林 长春 130022
自适应光学校正系统的主要功能是校正入射光的波前失真和补偿波前畸变,为了测量自适应光学系统的波前误差,采用非球面技术研制了一种工作波长为1 030 nm的波前检测装置。装置能够探测通光口径为200 mm×80 mm的大尺寸近红外矩形光束的波前,系统的中心视场PV值为0.123 λ,RMS值为0.036 1 λ,成像质量良好。在光学设计的基础上完成了结构设计,并在实验室环境下对该装置进行了组装和测试。测试结果表明,装置的光学参数和机械参数均满足设计的指标要求,可以完成自适应光学系统的波前检测任务。
自适应光学 矩形光束 波前检测装置 结构设计 adaptive optics rectangular beam wavefront detection device structural design 
应用光学
2023, 44(5): 943
作者单位
摘要
1 四川轻化工大学机械工程学院, 自贡 643000
2 四川省华夏阀门有限公司, 自贡 643000
改良西门子法是多晶硅生产的主要方法, 而多晶硅还原炉是多晶硅制备的主要设备。针对传统多晶硅还原炉的流场、温度场和辐射场不均匀导致生产的多晶硅尺寸不规则的问题, 本文对还原炉的炉顶封头结构、出气口位置布局和硅棒底盘布局进行优化设计。利用Fluent软件Do辐射模块对多晶硅还原炉进行气-固辐射仿真分析, 对比优化前后的流场、温度场和辐射场的云图、流线图等, 结果表明: 上出气口排气设计能够有效提高炉内气体流动速度, 减少炉内气体回流, 增加气体流动均匀性, 有效解决炉内顶部产生的温度死区, 平衡炉内上下温度差; 椭圆形顶部封头优化了还原炉整体空间, 降低设计成本, 有效抑制圆形封头中气体旋涡的产生, 增加炉内气体流动均匀性; 采用平行圆周对称式硅棒增加整体辐射量, 优化了传统还原炉中外圈硅棒与中心硅棒辐射不均匀现象, 有效防止了不规则硅棒的产生, 提高了多晶硅的产量, 为多晶硅还原炉的结构设计提供一个新的方案。
多晶硅还原炉 Do辐射模块 结构设计 出气口布局 炉顶封头 硅棒底盘布局 polycrystalline silicon reduction furnace Do radiation module structural design air outlet layout furnace top sealing head silicon rod chassis layout 
人工晶体学报
2023, 52(11): 1952
作者单位
摘要
郑州科技学院,郑州 450064
针对固态成像型头戴夜视系统大视场、轻量化需求,对双目头戴夜视系统进行了物镜和目镜光学系统及机械装配结构设计,选用高强型碳纤维环氧树脂作为夜视系统壳体材料,利用Solid Works仿真软件优化设计了一款夜视系统壳体结构,并对壳体在极寒和高热条件下的热稳定性进行了有限元分析。仿真实验结果表明,在-40和50 ℃两种极端温度情况下夜视系统壳体的热应力均小于材料的屈服强度,最大应变对光学系统成像质量、显示性能和机械结构造成的影响极为有限,从而验证了壳体结构良好的耐温性和可靠性。
双目头戴夜视系统 结构设计 热稳定性 有限元法 光学系统 binocular head-mounted night vision system structural design thermal stability finite element method optical system 
半导体光电
2023, 44(3): 444
作者单位
摘要
西安交通大学 电气工程学院,西安 710049
以线阵LED显示装置设计研究为主体,通过分解装置设计要素,分析装置设计过程中旋转平台的特殊性,从旋转平台供电方式与装置机械结构设计出发,多学科交叉融合保证装置的性能要求。系统以STC89C52单片机为主控单元,配合红外遥控调控显示内容,通过机械设计技术修正装置平衡效果及旋转平台无线供电效果,基于人眼视觉暂留现象原理,利用电机带动旋转平台实现图像显示,采用3D打印技术完成了装置的制作。通过实验发现装置能够稳定、清晰地完成多种状态显示,多学科知识的有机结合有效解决了科学研究中的复杂问题。
线阵LED显示装置 供电方式 机械结构设计 多学科交叉融合 linear array LED display device power supply mode mechanical structure design multi-disciplinary intersection and integration 
实验科学与技术
2023, 21(4): 21
葛好升 1,2,*孙振平 1,2杨海静 1,2郑琨鹏 3[ ... ]曹永 4
作者单位
摘要
1 同济大学材料科学与工程学院, 上海 201804
2 同济大学先进土木工程材料教育部重点实验室, 上海 201804
3 中铁二院重庆勘察设计研究院有限责任公司, 重庆 400023
4 江苏诚意集团有限公司, 江苏 徐州 221699
为了减少混凝土的收缩开裂、促进减缩型聚羧酸系减水剂的发展和应用, 采用水溶液自由基聚合法, 将异戊烯基聚氧乙烯醚(IPEG)、丙烯酸(AA)和丙烯酸丁酯(BA)等不饱和单体共聚合成了一种兼具分散性能和减缩性能的减缩型聚羧酸系减水剂(SR-PCE)。利用凝胶渗透色谱法和Fourier红外光谱法对SR-PCE的分子结构进行了表征, 并对其减缩机理进行了分析。结果表明: 所制备的SR-PCE的分子结构符合预先的设计; 在保证优良分散性能的前提下, 当SR-PCE分子结构中IPEG、AA和BA三者的摩尔比为1:5:4时, 减缩性能最佳。SR-PCE发挥优良减缩作用的机理主要在于2个方面: 首先, 相比普通型聚羧酸系减水剂, SR-PCE可以进一步降低水溶液的表面张力; 其次, SR-PCE可以减少水泥石孔溶液中水的蒸发速率, 提高浆体对孔隙水的保持能力。
分子结构设计 自由基聚合 减缩型聚羧酸系减水剂 作用机理 表面张力 molecular structure design free radical polymerization shrinkage reducing polycarboxylate superplasticize mechanism surface tension 
硅酸盐学报
2023, 51(5): 1293
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室,上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心,北京 100049
在高功率激光装置冷冻靶系统中,靶架的细长悬臂梁结构对冷冻靶内部振源有着较大的振动响应,从而会影响装置的束靶耦合精度。针对该问题,研究了长悬臂梁的附加式减振结构,在不增加整体外形尺寸和质量的前提下,通过增加悬臂梁支撑点的方式增大结构比刚度,从而优化其振动响应特性。以美国国家点火装置(NIF)中的靶架作为研究设计主体,通过建立数学模型明确了响应函数的主要、次要影响参数;利用ANSYS有限元模拟的方法确定了重要工程参数的取值范围;通过自主搭建的实验台模拟了不同工况下的振源并对减振靶架进行测试,最佳方案中的振幅优化率为91.7%,冲击收敛时间优化率为77.1%,固有频率达到183 Hz,证明了所设计的减振结构对长悬臂梁的振动响应特性有较好的优化作用。
激光器 结构设计 振动控制 有限元法 参数优化 冷冻靶 高功率激光装置 
中国激光
2023, 50(10): 1001003
作者单位
摘要
东南大学 仪器科学与工程学院, 江苏 南京 210096
该文设计了一种具有高灵敏度、低交叉耦合的双轴谐振式微加速度计, 使用工型梁作为解耦梁, 通过微杠杆机构实现力的放大, 结构呈中心对称形式, 采用差分检测工作方式。通过仿真分析对结构进行优化并完成加速度计整体结构设计, 进而提高加速度计灵敏度, 降低交叉耦合。对加速度计结构进行模态分析、灵敏度分析、交叉耦合分析和谐响应分析, 结果表明, 在±20g量程范围内, x向标度因数为423.6 Hz/g, y向标度因数为421.8 Hz/g, x向交叉灵敏度为0.000 047%, y向交叉灵敏度为0.000 78%。仿真结果验证了所设计结构的可行性。
双轴加速度计 高灵敏度 交叉耦合 有限元仿真 结构设计 biaxial accelerometer high sensitivity cross coupling finite element simulation structure design 
压电与声光
2023, 45(1): 112
作者单位
摘要
1 中国空间技术研究院 北京空间飞行器总体设计部, 北京00094
2 吉林大学 工程仿生教育部重点实验室,吉林长春1300
月球探测用应急返回车的相关技术研究是我国未来载人登月探测的重要任务。根据应急生保和月面短距离移动需求,本文从安全舒适性、操作可靠性和工作空间出发,设计了一种立方体载人月球应急返回车,对车身构型、折展模式、驱动方式、底盘结构、悬挂转向和车轮等多个模块进行了设计优化,并进行了试制和试验。结果表明,整车能够实现自动折展,具有较高的展/折比(大于17),满足行驶、转向、越障、爬坡等移动需求。
应急返回车 折展 结构设计 manned lunar vehicle deployable structures structural design 
光学 精密工程
2023, 31(5): 697

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