1 上海交通大学化学化工学院, 上海 200240
2 上海交通大学分析测试中心, 上海 200030
在100 ℃, 150 ℃和270 ℃下固化得到了四种聚酰亚胺薄膜, 薄膜的固化温度对其性能有重要影响。 采用波长把5 nm的偏振紫外脉冲激光,在四种聚酰亚胺薄膜表面成功制备了纳米微条纹结构, 并研究了固化温度对微结构的形成过程及其形态的影响。
激光诱导周期表面结构(L1PSS) 聚酰亚胺薄膜 紫外激光 Nd:YAG激光器
1 上海交通大学信息存储研究中心, 上海 200030
2 上海市计量测试技术研究院, 上海 200040
3 上海交通大学应用化学系, 上海 200030
4 上海交通大学应用物理系, 上海 200030
阐述了用虚源法设计连续面型光栅分束器件的原理, 提出了一种局部搜索遗传算法, 并将其用于优化器件的性能。 局部搜索遗传算法结合了局部搜索算法和遗传算法的优点, 可以有效地克服遗传算法的“早熟收敛”现象, 具有更强的全局收敛能力。 用文中给出的方法可以得到具有较好均匀性的、 高衍射效率的连续面型光栅分束器件。
衍射光学 衍射光栅 遗传算法 模拟退火算法
1 上海交通大学信息存储研究中心,上海 200030
2 上海交通大学应用物理系,上海 200030
3 上海交通大学应用化学系,上海 200030
4 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州 310027
基于光刻胶正胶曝光显影过程的理论模型, 用梯度折射率介质光线追迹的方法进行了由于局部溶解速率不同而造成的显影过程中胶面面形随时间变化过程的计算。 对任意给定的曝光量分布及显影时间, 可以精确地确定显影后的面形, 为激光直写研究提供了一种有效的工具。 同时, 通过对显影速率作阈值近似后, 导出了光刻胶曝光显影后面形与表面所需曝光量分布之间的关系, 为激光直接写入提供了理论指导。
衍射光学 激光直接写入 计算机仿真
