1 激光技术国家重点实验室,华中科技大学,武汉,430074
2 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030
采用准分子脉冲激光,在Si(111)衬底上生长了带有AlN缓冲层的GaN薄膜, 利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光致发光光谱(PL)等测试手段研究了不同沉积温度所生长的GaN薄膜结构特征和光学性能.研究表明:沉积温度影响GaN薄膜结构和光学性能,黄带发射峰主要与晶体缺陷有关.在400～700 ℃沉积范围内随着温度升高,GaN薄膜结构和光学性能提高.
GaN薄膜 脉冲激光沉积 直流放电辅助 结构 光致发光光谱
1 上海交通大学化学化工学院, 上海 200240
2 上海交通大学分析测试中心, 上海 200030
在100 ℃, 150 ℃和270 ℃下固化得到了四种聚酰亚胺薄膜, 薄膜的固化温度对其性能有重要影响。 采用波长把5 nm的偏振紫外脉冲激光,在四种聚酰亚胺薄膜表面成功制备了纳米微条纹结构, 并研究了固化温度对微结构的形成过程及其形态的影响。
激光诱导周期表面结构(L1PSS) 聚酰亚胺薄膜 紫外激光 Nd:YAG激光器
1 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
2 中国科学院上海?际跷锢硌芯克?红外物理国家重点实验室,上海,200083
3 上海交通大学分析测试中心,上海,200030
采用高度稀释的前驱体溶液在LaNiO3 (LNO)薄膜上沉积了Ba0.9Sr0.1TiO3(BST)薄膜.X-射线衍射分析表明BST薄膜呈高度的(1#0#0)择优取向.原子力显微镜测量发现制备的BST薄膜具有大的晶粒尺寸80～200nm.用椭偏光谱仪测量了光子能量为0.7～3.4eV范围内BST薄膜的椭偏光谱,用Cauchy模型描述BST薄膜的光学性质,获得了BST薄膜的光学常数谱和禁带宽度Eg=3.36 eV.
化学溶液法 BST薄膜 椭偏光谱 光学常数谱. chemical solution routes BST thin films spectroscopic ellipsometry optical constant spectra
