甚长波红外波段富含大气湿度、CO2含量及云层结构和温度轮廓等大量信息, 是大气遥感的重要组成部分。设计了一种32×32甚长波红外焦平面阵列, 采用在ZnCdTe衬底上液相外延生长的As掺杂p型材料上进行B+离子注入形成光敏元, 通过铟柱倒焊技术和带有改进型背景抑制结构的读出电路互联, 制成截止波长达到14 μm的焦平面器件。该红外焦平面器件像元面积为60 μm×60 μm, 工作温度在50 K温度下。测试结果显示: 读出电路性能良好, 焦平面黑体响应率达到1.35×107 V/W, 峰值探测率为2.57×1010 cmHz1/2/W, 响应率非均匀性约为45%, 盲元率小于12%。