为了简化六自由度并联机构的参数标定过程，提高标定效率，降低标定成本，提出了基于正交位移测量系统的位姿测量装置及方法。首先，研究了该装置的位姿解算方法，利用空间解析几何的方法，求解其运动学正解与逆解。其次，利用微小位移合成法，建立了并联机构及正交位移测量系统组合体的误差模型。然后，基于误差模型，构建了组合体参数误差辨识的最优化问题数学模型，其中，传感器示值的平方和最小为目标函数，组合体的结构参数误差为设计变量。最后，利用正交位移测量系统对六自由度并联机构位姿进行测量，利用OASIS奥希思软件直接搜索出参数误差最优解，将其补偿到并联机构控制系统中，完成并联机构的参数标定。标定前后位姿误差对比表明：最大位置误差降低了58%～96%，最大姿态误差降低了92%～97%。利用正交位移测量系统进行并联机构参数标定，不仅可有效提升并联机构的定位精度，还可有效简化标定工作，提升标定效率，降低标定成本。

超精密位移测量技术不仅是精密机械加工的基础，在以摩尔定律飞速发展的芯片制造行业中也起到决定性的作用。以光栅栅距为测量基准的光栅位移测量系统被广泛应用于多维测量系统，光栅位移测量系统与激光位移测量系统相比，大大降低了对使用环境的湿度、温度和气压的要求。本文主要介绍了近年来国内外基于二维光栅的位移传感系统光学结构的发展现状，从零差式和外差式光栅干涉测量原理入手，综述了基于单块二维光栅的光学结构到多块二维光栅耦合设计的光学结构发展历程，对比分析了几种二维光栅位移测量系统的优缺点，并展望了二维光栅位移测量系统发展趋势，总结了二维光栅位移测量系统的工程化进程。

超快激光技术是目前激光乃至物理学和信息科学领域最活跃的研究前沿之一，在工业加工、生物医学和激光雷达等领域具有广泛应用。二维材料具有独特的物理结构及优异的光电特性，作为可饱和吸收体应用于超快激光器时，具备工作波段宽、调制深度可控和恢复时间快等优势。其中，过渡金属硫化物因具有带隙连续可调等特点，已成为二维材料研究领域的重点。本文从过渡金属硫化物的特性出发，介绍了可饱和吸收器件的制作方法，综述了基于新型过渡金属硫化物的超快激光器的研究进展，并对其发展趋势进行了展望。