1 四川大学 材料科学与工程学院, 成都 610064
2 英飞睿(成都)微系统技术有限公司, 成都 610299
3 江苏鹏举半导体设备技术有限公司, 南通 226010
为了反映器件几何尺度上各个区域的性能分布, 采用波长为852 nm且可调聚焦面积的激光束作用在CdTe薄膜太阳电池的P-N结微区表面, 产生定域诱导光致电流响应, 并通过设置样品台的步进方式, 得到了所测器件在几何面积范围内的微区光谱响应分布图, 获得更直观的器件电流分布均匀性和P-N结特性。结果表明, 这种测试方式能够简化且低成本地建立与CdS/CdTe异质结制作技术密切相关的沉积与后处理工艺参数和材料特性的联系, 进而获得异质结界面分布均匀性与太阳电池电流-电压(I-V)特性参数均匀性的对应关系。该研究可为提高太阳电池的性能提供实验测试依据。
激光技术 微区光谱响应 激光诱导 CdTe薄膜太阳电池 laser technique local spectral response laser-induced CdTe thin-film solar cell
