为了反映器件几何尺度上各个区域的性能分布, 采用波长为852 nm且可调聚焦面积的激光束作用在CdTe薄膜太阳电池的P-N结微区表面, 产生定域诱导光致电流响应, 并通过设置样品台的步进方式, 得到了所测器件在几何面积范围内的微区光谱响应分布图, 获得更直观的器件电流分布均匀性和P-N结特性。结果表明, 这种测试方式能够简化且低成本地建立与CdS/CdTe异质结制作技术密切相关的沉积与后处理工艺参数和材料特性的联系, 进而获得异质结界面分布均匀性与太阳电池电流-电压(I-V)特性参数均匀性的对应关系。该研究可为提高太阳电池的性能提供实验测试依据。

石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上, 即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响, 很难精确地一次性得到目标频率, 特别是对于批量生产的石英谐振器, 要获得一致性很好的频率更难, 因此, 后期的频率微调很重要。频率微调法包括物理法和化学法, 一般通过改变石英晶片或电极的质量来实现升频或降频。该文首先综述了激光刻蚀和离子束刻蚀物理法升频技术, 然后结合相关技术的发展, 在论证可行性的基础上, 创新性地提出使用磁控溅射技术进行升频微调, 并建立了理论模型。

介绍了一种等面积分流小孔电火花加工方法，分析了等面积电极放电的电火花加工过程，研究了在等面积电极条件下，等面积单电极与分流多电极加工对加工速度、电极损耗、放电间隙的影响并进行了验证性试验。研究结果表明：小孔分流法加工与单电极加工相比，加工速度略有减小、放电间隙略有变小、电极损耗略有增加，加工效果具有一致性，而且分流法电火花加工有利于小孔电火花加工的尺寸控制。通过等面积分流法改变加工工艺，用电火花机床稳定加工参数进行了比机床稳定加工临界值尺寸还小的小孔加工，试验中采用单电极1 mm×1 mm(总面积为1 mm2)的稳定加工指标，进行等面积分流为3个电极0.577 mm×0.577 mm(总面积为1 mm2)的小孔加工，获得了稳定电火花加工的0.6 mm×0.6 mm小方孔，表明提出的方法是一种有效的小孔电火花加工方法。