中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆400060
为了防止声表面波器件被自身的热释电静电烧伤, 提出了一种新的静电防护方法。该方法采用导电介质来实现对声表面波器件引脚的良好接触,并建立了静电传导途径, 实现了热释电静电的释放, 解决了困扰声表面波器件的静电敏感问题。试验结果表明, 该方法能有效预防静电烧伤, 具有很好的实用性。
声表面波器件 导电介质 静电 热释电 晶片 surface acoustic wave(SAW) device conductive medium static electricity pyroelectricity wafer
