中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
为了实现超高速的声光调制, 该文提出了一种光纤耦合声光调制器键合膜系的设计与仿真方法。利用该方法设计并制作了一款工作频率为200 MHz、10 ns光脉冲上升时间的光纤耦合声光调制器。器件采用TeO2作为声光介质, 36°Y-切LiNbO3作为压电换能器晶片, 衬底层采用高纯度Cr, 键合层为高纯度Au, 结果表明器件性能测试良好。
光纤耦合声光调制器 键合膜系 仿真 衬底层 键合层 fiber coupled acousto-optic modulator bonding membrane system simulation substrate layer bonding layer
