华侨大学机电及自动化学院, 福建 厦门 361021
微射流水导激光加工是利用Nd∶YAG激光在微射流击穿阈值中全反射传输作用于加工工件上, 加工激光经过不同轴方向速度的微射流水导传输后以不同模式叠加, 其加工峰值和能量分布得到改变。实验中, 激光在微射流中分布峰值下降, 光强分布均匀, 加工效果相当于提高并展宽脉冲宽度,达到加工阈值。从理论上分析激光在微射流分布影响下能量分布变化, 并模拟水导激光加工及波导传输机理, 分析对于激光加工效率的影响。研究结果对进一步系统地提高改善微射流水导激光加工质量, 尤其在以该加工方式参与的激光精密、超精密加工中, 提高其应用范围有着重要参考价值。
微射流水导激光 高斯分布 多模叠加 平顶分布 laser micro-jet flatten uniform distribution multi-model laser superiposing phase stacking
