中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621999
压电马达需高压交流信号进行驱动，传统的驱动电路通过电感与马达构成谐振升压电路产生高压。分析指出了传统电路缺点在于谐振电路的输出信号不均衡且不稳定，而且需逐个微调马达对应的匹配电感。基于短时工作、轻载荷的应用环境，针对上述缺点提出了多级升压方案。新的方案减轻了谐振升压电路的压力。电感主要作用转变为调节电路功率因数。因此两相输出信号变得平稳、均衡，且无需微调电感，调试过程得以精简，利于批量生产。试验数据表明电路可输出±260 V的交流信号，驱动 Ф11 mm行波压电马达正常工作，转速约 600 RPM。
驱动电路 压电马达 多级升压 LC谐振 driving circuit Ultrasonic Motor multilevel stepping -up LC resonance 太赫兹科学与电子信息学报
2015, 13(6): 961
