作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
为了简化微泡腔的制备工艺,在传统 $ \text{C}{\text{O}}_{\text{2}} $激光双向加热方案的基础上,采用 $ \text{C}{\text{O}}_{\text{2}} $激光单点加热毛细管。通过精确控制加热温度和气体流速,制备出半球形的微泡腔,进而通过调节激光光斑,增加加热面积的方式制备出球形的微泡腔。使用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对制备的球形微泡腔进行表征,并通过COMSOL仿真验证了所制备微泡腔的性能。所制备的微泡腔表面光滑,壁厚最薄处可达到亚微米量级。研究结果表明,通过 $ \text{C}{\text{O}}_{\text{2}} $激光单点加热制备的微泡腔的壁厚存在轻微的不均匀性,但其谐振Q值仍然较高,可广泛应用于传感领域。
CO2激光 单点加热 球形微泡腔 谐振品质因数 CO2 laser single-spot heating spherical microbubble resonant quality factor 
光学仪器
2021, 43(2): 55

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