成海峰 1,2朱翔 2候芳 1,2胡三明 1,*[ ... ]石归雄 2
作者单位
摘要
1 东南大学 毫米波国家重点实验室,江苏 南京 210096
2 南京电子器件研究所,江苏 南京 210016
基于硅微机械加工工艺,设计并制作一款W波段4路硅基波导功分/合成器。通过在8英寸的硅晶圆上采用干法刻蚀和晶圆级键合等工艺途径实现了硅基波导结构。根据硅微机械加工工艺的特点,设计了一种基于H面T型结和3dB耦合桥结构的波导功分/合成器。该功分/合成器表现出的损耗为0.25 dB。最后,采用该硅基功分/合成器对4只2W的GaN功率单片进行了功率合成,研制了W波段硅基合成功率放大器。测试结果表明,在92∼96 GHz的频率范围内,输入功率30 dBm的条件下,输出功率在7.03 W至8.05 W之间,典型电源附加效率为15%,平均合成效率为88%。
W波段 硅微机械加工 功率分配/合成器 固态功率放大器 氮化镓 W band silicon micromachined power splitter/combiner solid state power amplifier(SSPA) GaN. 
红外与毫米波学报
2021, 40(2): 178
作者单位
摘要
中国空间技术研究院西安分院,陕西 西安 710100
聚焦于星载固态功率放大器的高频化,设计并实现了Q频段20W、V频段10W以及W频段2W的固态功率放大器。基于氮化镓功率单片技术,提升了单元的功率和效率;基于魔T和径向线的高效率、低插损多路功率合成技术,实现了整机高功率输出;铜金刚石和热管的应用和工艺攻关,克服了多热源、高热流的工程瓶颈。Q频段和W频段固放首次在轨应用,以及V频段固放在地面发射机中的应用。考虑到严苛的空间考核条件以及器件为满足在轨长寿命的降额要求,产品均性能优良稳定。文中的Q频段和W频段固放是我国首次开发并在轨搭载验证的星载连续波固态功率放大器,为我国后续极高频段高通量卫星的载荷实现提供了有力技术支撑。
Q频段 V频段 W频段 氮化镓 固态功率放大器 星载 Q band V band W band GaN solid-state power amplifier(SSPA) space based 
红外与毫米波学报
2021, 40(1): 25

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