1 中国科学院 声学研究所 声场声信息国家重点实验室，北京 100190
2 中国科学院大学，北京 100049
为了提高压电微机电系统(MEMS)扬声器的声压级，该文提出了一种新型的扬声器振膜结构，该结构由4个相同的扇环驱动单元和中间圆形质量块组成，并在上表面覆有一层柔性材料，形成刚性-柔性耦合封闭振动膜。优化该结构中圆形质量块半径r2和相邻扇环的相邻边夹角θ等参数。结果表明，当θ=50°，r2=700 μm时，声压级最大。在保证振膜面积相同和谐振频率基本一致的情况下，与优化后的固支圆形多层振膜相比，该文所提出的新型结构声压级高5 dB。
压电 微机电系统(MEMS) 扬声器 声压级 刚性-柔性耦合 piezoelectric micro-electro-mechanical systems(MEMS) speaker sound pressure level rigid-flexible coupling
