作者单位
摘要
1 贵州大学大数据与信息工程学院,贵州省电子功能复合材料特色重点实验室,贵阳 550025
2 贵州商学院计算机与信息工程学院,贵阳 550014
3 贵阳学院电子与通信工程学院,贵阳 550005
β-(AlxGa1-x)2O3因其优异的抗击穿及带隙可调节性在现代功率器件及深紫外光电探测等领域展现出巨大的应用前景,然而传统直接生长工艺的复杂性和难度限制了其进一步的发展。因此,本文采用较为简单的高温扩散工艺在c面蓝宝石衬底上成功制备了β-(AlxGa1-x)2O3纳米薄膜。利用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电子显微镜和紫外-可见分光光度计对其进行了表征。由于高温下蓝宝石衬底中的Al原子向Ga2O3层扩散,β-Ga2O3薄膜将转变为Al、Ga原子比例不同的β-(AlxGa1-x)2O3薄膜。实验结果显示:当退火温度从1 010 ℃增加到1 250 ℃时,薄膜中Al的平均含量从0.033增加到0.371;当退火温度从950 ℃增加到1 250 ℃时,薄膜的厚度从186 nm增加到297 nm,粗糙度从2.31 nm增加到15.10 nm;当退火温度从950 ℃增加到1 190 ℃时,薄膜的带隙从4.79 eV增加至5.96 eV。结果表明高温扩散工艺能够有效调节β-(AlxGa1-x)2O3薄膜的光学带隙,为β-(AlxGa1-x)2O3基新型光电子器件提供了实验基础。
Al掺杂 半导体薄膜 高温扩散 可调带隙 磁控溅射 β-(AlxGa1-x)2O3 β-(AlxGa1-x)2O3 Ga2O3 Ga2O3 Al doping semiconductor thin film high temperature diffusion tunable band gap magnetron sputtering 
人工晶体学报
2023, 52(2): 281
作者单位
摘要
四川大学物理科学与技术学院,成都 610064
本研究建立了纤铁矿TiO2和GaSe二维晶体的物理模型,用第一性原理的密度泛函方法计算了两体系的能带性质,分析了体系的电子态及光谱性质,并进一步研究了二轴张力对体系的能带的调控作用,最后分析了二轴张力对体系电子态性质和光谱性质的调控作用。结果表明,通过二轴张力,可以有效地调节两体系的带隙宽度,进而调节两体系的光谱响应特性,从而拓展了二维晶体在可控电子学、光伏器件等领域的应用。
纤铁矿TiO2 第一性原理 带隙调控 光谱调控 lepidocrocite-TiO2 GaSe GaSe First-Principle tunable band gap tunable optical spectrum 
光散射学报
2019, 31(3): 282

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