1 中国科学院 光电技术研究所 自适应光学研究室,四川 成都 610209
2 中国科学院自适应光学重点实验室,四川 成都 610209
用于能动镜中的力驱动器采用直流电机作为驱动源,经减速器后利用滚珠丝杆传动加弹簧组件实现纳米级微位移,而采用丝杆副实现自锁。驱动器基于拉压力传感器实现闭环控制,高增益的PID控制器克服了机械摩擦的微动特性获得比较好的线性度。用4个力驱动器和3个刚性支撑组成了一个能动镜原型样机,光学干涉仪测量结果表明,力驱动器平均位移分辨力约为10 nm、最大可变形量达±8 μm、最大驱动力达±700 N。实验结果证明了力驱动器应用于能动镜驱动器的可行性,为能动镜的实用化提供了实验依据。
自适应光学 能动镜 力驱动器 微位移驱动器 滚珠丝杆 PID控制
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,浙江,杭州,310027
设计了一种具有自锁功能,可实现数字化的电磁驱动可调光衰减器.该衰减器以电磁驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮以及与偏心轮点接触的移动挡光片,从而实现数字化电控调节光衰减量.性能测试表明该器件的插入损耗小于 0.5 dB,衰减动态范围为0～50dB.
数字化电控可调光衰减器 微加工 微位移驱动器 光通信
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器.与传统可调光衰减器相比,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节,并且可通过器件结构的优化设计,对光衰减量的非线性进行补偿,最终得到线性衰减.器件性能测试表明,插入损耗IL《0.3 dB,偏振相关损耗PDL《0.1 dB,波长相关损耗WDL《0.2 dB,衰减范围0～40 dB,回波损耗RL》50 dB.
微光机电系统(MOEMS) 可变光衰减器 电磁驱动 微位移驱动器
中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209
样机采用叠片式压电驱动器作为驱动源,利用一对夹爪与丝杠之间的惯性滑移效应实现纳米级微位移驱动,而用丝杠副实现自锁.微位移测量采用高精度电感式测微仪与光学干涉仪.样机平均位移分辨力为5～15nm,驱动力60N,行程15mm.分析表明,对性能的主要影响因素是驱动脉冲参数及丝杠的爬行现象,这为LSPM的进一步优化提供了依据.
微位移驱动器 压电马达 压电陶瓷
