作者单位
摘要
华侨大学 制造工程研究院,福建厦门361021
激光诱导等离子体刻蚀技术在蓝宝石表面微结构制作方面具有独特的优势。通过控制变量法研究了激光能量密度、靶材和蓝宝石之间的距离和扫描速度对激光诱导等离子体加工蓝宝石微槽的微观形貌和几何尺寸的影响规律。通过正交试验研究了激光诱导等离子体工艺参数对蓝宝石表面微结构接触角的影响,发现扫描线间距对接触角的影响最大,靶材和蓝宝石之间的距离和激光能量密度次之,扫描速度的影响最小。当激光能量密度为6.3 J/cm2,扫描线间距为200 μm,靶材和蓝宝石之间的距离为150 μm,扫描速度为10 mm/s时,蓝宝石表面微结构的接触角为136°,表现出良好的疏水性;当激光能量密度为7.4 J/cm2,扫描线间距为50 μm,靶材和蓝宝石之间的距离为100 μm,扫描速度为5 mm/s时,蓝宝石表面微结构的接触角为29°,具有较好的亲水性,并且长时间放置后表面接触角基本保持不变。通过扫描电镜观察发现,蓝宝石表面的微结构上分布着许多纳米颗粒,这些微纳结构共同影响蓝宝石的润湿性。
激光诱导等离子体烧蚀 蓝宝石 微结构 工艺参数 表面润湿性 laser-induced plasma-assisted ablation sapphire microstructures processing parameter surface wettability 
光学 精密工程
2024, 32(3): 366
作者单位
摘要
中国原子能科学研究院,北京 102413
气溶胶中锶元素的监测对于大气污染防治和工业设施排放监控具有重要意义。激光诱导等离子体光谱技术具有无需采样预处理、可原位快速检测等优势,在环境介质成分直接在线监测方面具有极大的应用潜力。介绍了基于实验室搭建的LIPS装置开展的气溶胶中锶元素的直接探测工作。利用整体平均法对气溶胶等离子体进行光谱分析,结果显示实验装置对锶元素的检测限为809 μg/m3。对于低密度气溶胶光谱,条件分析法可以将平均光谱的信噪比提升8倍。基于实验结果讨论了含锶气溶胶统计学特性和数据分析方法的影响。气溶胶中颗粒物的密度对等离子体温度的影响极小,光谱强度变化直接反应了激光激发气溶胶颗粒物的数量。通过对条件分析法使用范围的讨论,提出在测量周期内利用累计光谱取代平均光谱,可将系统的灵敏度提升近3个数量级。实验装置的检测限达到1.3 μg/m3,初步满足工业排放监测的需求。
激光诱导等离子体光谱 气溶胶  条件分析 laser-induced plasma spectroscopy aerosol analysis Sr conditional analysis 
光学 精密工程
2023, 31(19): 2827
作者单位
摘要
1 平高集团有限公司技术中心, 河南 平顶山 467000
2 西安交通大学电气工程学院, 陕西 西安 710049
激光诱导击穿光谱(LIBS)因其无需制样、 样品损伤小、 可在线检测以及检测速度快等优点被广泛应用。 激光诱导等离子体是一个十分复杂的物理过程, 受多种因素的影响, 激光入射角是其关键影响因素之一。 脉冲激光入射角的改变会直接改变脉冲激光在样品表面的聚焦光斑形状, 导致脉冲激光照射在靶材表面的功率密度发生改变, 直接影响到脉冲激光诱导等离子体过程, 脉冲激光与靶材法线所成角度的改变还会直接影响等离子体扩散过程。 尽管脉冲激光入射角是激光诱导等离子体过程的关键影响因素之一, 但是在低压环境下, 脉冲激光入射角对激光诱导等离子体过程的影响研究较少, 对激光等离子体的影响仍不明确, 对激光等离子体影响的内在机制还需更加深入的研究。 首先研究了激光入射角对脉冲激光在靶材表面形成的聚焦光斑的影响, 实验和仿真的结果都表明脉冲激光在靶材表面的聚焦光斑尺寸随着入射角的增大而增大, 导致相同激光能量下脉冲激光的功率密度下降; 其次, 采用同轴成像的方式研究了不同气压下激光入射角对激光等离子体的影响, 实验结果显示激光等离子体中心辐射强度会随着入射角的增大而减弱。 当激光入射方向与靶材表面法线成0~15°时; 脉冲激光入射角对激光等离子体中心辐射强度影响较小, 辐射强度降低仅为3.05%, 当激光入射方向与靶材表面法线成60°时, 辐射强度降低可达25.415%, 对激光等离子体中心辐射强度有着较为明显的影响。 最后, 对处于气压10-4 Pa下激光从不同角度入射所产生的激光烧蚀坑进行了微观结构分析, 分析结果表明靶材烧蚀量会随着入射角的增大而增加, 但靶材烧蚀效率, 即单位光斑面积靶材烧蚀量, 则会随着入射角度的增大而下降, 这解释了激光等离子体中心辐射强度随入射角增大而减弱的现象。 该工作有助于理解激光入射角对激光等离子体的影响, 为优化LIBS实验参数提供参考。
环境气压 激光入射角 激光诱导等离子体 烧蚀坑 Ambient pressure Laser incidence angle Laser-induced plasma Ablation crater 
光谱学与光谱分析
2023, 43(9): 2740
作者单位
摘要
国防科技大学空天科学学院,湖南 长沙 410073
研究静态空气中多点激光诱导等离子体的演化特性是研究和优化其超声速稳燃效果的基础。在常规的试验研究中,由于测量手段和试验设备的限制,可以获取的静态空气中多点激光诱导等离子体的后流场信息有限,且激光焦点构型单一。本文采用改进后的Dors模型,对静态空气中多点激光诱导等离子体的演化特性开展了数值模拟研究。基于数值纹影图、温度等值面图、流场压力和温度分布规律图,阐释了静态空气中线形激光焦点构型的多点激光诱导等离子体产生的激波、等离子体内核以及流场相关参数的演化特性;随后通过对等离子体内核的平均温度、体积、比表面积以及流场特征位置的压力进行分析,得到了激光焦点布局形式和间距对多点激光诱导等离子体演化特性的影响规律。结果表明,当激光焦点间距较小(2~4 mm)时,激光焦点间距是影响演化特性的主要参数。
激光光学 多点激光诱导等离子体 稳燃 数值模拟 融合 激光焦点构型 
中国激光
2023, 50(7): 0701010
王卫江 1贾凯 1房瑞娜 1邢昊 1[ ... ]王浟 1,2,*
作者单位
摘要
1 西南技术物理研究所, 成都 610041
2 电子科技大学 基础与前沿研究院,成都 610054
激光诱导等离子体作为一种宽光谱辐射源, 能够产生X射线、紫外、可见、红外、太赫兹以及微波波段的辐射, 可应用于天体物理、惯性约束核聚变、生物医学、材料科学、光谱分析、环境工程、信息技术、超快技术、光刻技术、成像技术、雷达技术、半导体技术等众多领域, 具有较高的实用价值。迄今为止, 有关激光诱导等离子体辐射特性的文献报道大多集中于描述激光与物质在单一波段的相互作用, 对辐射的产生机理还未完全掌握, 对完整光谱的研究综述依然比较缺乏。从电磁辐射光谱及其辐射机制的角度, 对激光诱导等离子体的辐射特性做出了系统的梳理分类, 对国内外相关团队的研究成果进行了总结和分析, 特别从不同视角探究了等离子体与光谱辐射之间的物理关系。介绍了激光诱导等离子体各个波段的辐射特点, 并讨论了影响辐射的相关因素。最后, 对红外波段和太赫兹波段的研究前景进行了展望。
光谱学 辐射光谱 辐射机制 激光诱导等离子体 spectroscopy radiation spectrum radiation mechanism laser-induced plasma 
激光技术
2022, 46(4): 499
作者单位
摘要
1 长春工业大学电气与电子工程学院, 吉林 长春 130012
2 长春工业大学机电工程学院, 吉林 长春 130012
针对土壤定量分析受基体效应影响大, LIBS定量分析精度不佳等问题, 采用粒子群算法对LSSVM进行优化, 提高模型的精确度。 选取Pb Ⅰ 405.78 nm和Cr Ⅰ 425.44 nm作为分析谱线进行分析。 采集十二个不同浓度样品的特征光谱, 每个浓度样品在不同点采集20组数据, 将其中17组数据设为训练集, 3组数据设为预测集, 用LSSVM和PSO-LSSVM两种方法建立定标模型。 对比两种模型的拟合相关系数(R2)、 训练集均方根误差(RMSEC)和预测集均方根误差(RMSEP)。 由于自吸收效应的影响, 随着浓度的增加, 预测值逐渐低于实际值, LSSVM定标模型的拟合程度较低, 无法达到实验要求, 模型性能有待提高。 利用粒子群算法对LSSVM的模型参数惩罚系数和核函数参数进行优化, 得到最佳的参数组合, Pb元素为(8 096.8, 138.865 7), Cr元素为(4 908.6, 393.563 5), 用最佳的参数组合构建LSSVM的定标模型。 相比于LSSVM, PSO-LSSVM定标模型的精确度更高, Pb和Cr元素的R2提高到了0.982 8和0.985 0, 拟合效果明显提升。 Pb和Cr元素的训练集均方根误差由0.026 0 Wt%和0.027 2 Wt%下降到0.022 4 Wt%和0.019 1 Wt%, 预测集均方根误差由0.101 8 Wt%和0.078 8 Wt% 下降到0.045 8 Wt%和0.042 0 Wt%, 模型的稳定性进一步提高。 说明PSO-LSSVM算法能够更好地降低土壤基体效应和自吸收效应带来的影响, 提高分析结果的精确度与稳定性。
激光诱导等离子体技术 粒子群优化 最小二乘支持向量机 定量分析 Laser-induced breakdown spectroscopy Particle swarm optimization Least squares support vector machine Quantitative analysis 
光谱学与光谱分析
2021, 41(11): 3583
作者单位
摘要
河南科技大学物理工程学院, 河南 洛阳 471023
光谱信号增强是提高激光诱导击穿光谱技术分析性能的重要手段之一, 对等离子体进行空间约束由于装置简单且约束效果好而常被采用, 等离子体的特性会直接影响空间约束的效果, 而等离子体的特性与实验系统中激光的聚焦情况密切相关, 为研究激发光源的聚焦情况对半球形空腔约束等离子体光谱增强特性的影响, 通过控制透镜到样品之间的距离(LTSD)来改变激光的聚焦位置, 分别在无约束和有半球形空腔约束两种实验条件下, 烧蚀合金钢产生等离子体, 采集15个不同LTSD位置时等离子体的时间演变光谱, 得到谱线强度和增强倍数随着LTSD和采集延时的二维空间分布图。 研究结果发现: 无约束情况下, 谱线强度分别在LTSD为94和102 mm时出现峰值, 在采集延时小于8 μs时, 谱线强度的最大值在LTSD为94 mm的位置, 采集延时大于8 μs后, 谱线强度的最大值出现在LTSD为102 mm的位置; 当用半球空腔约束等离子体, 谱线强度先后在采集延时范围为4~10和12~15 μs出现第一次增强和第二次增强。 谱线强度出现第二次增强的主要原因是被半球腔内壁反射的冲击波与等离子体相互作用后会继续向前传播, 遇到另一侧的腔壁再次被反射, 进而对等离子体产生二次压缩。 分析增强倍数随LTSD和采集延时的二维变化关系发现, 第一次增强的最大增强倍数随LTSD的变化没有明显规律, 增强倍数在2~6之间波动; 谱线第二次增强时的增强倍数相对较高, 最大增强倍数随着LTSD变化呈现出先增大再减小, 然后再小幅增加后降低的变化规律, 在LTSD为96 mm时达到最大值, 两条谱线的最大增强倍数约为6倍。 分析出现最大增强倍数对应的延迟时间发现, 第一次增强出现的最优延迟时间在6~9 μs之间变化, 当LTSD在85~93 mm范围时, 最优延迟时间保持不变, 当LTSD在94~105 mm时, 出现先降低再增大的变化规律; 第二次增强出现的延迟时间主要在14~15 μs, 随着LTSD的变化没有明显的变化规律。
激光诱导等离子体 半球腔约束 光谱增强 聚焦位置 Laser-induced plasma Hemispherical cavity confinement Spectral enhancement Focusing position 
光谱学与光谱分析
2021, 41(11): 3577
查榕威 1,2,3余立冬 1,2,3李奔 1,2,3白杨 1,2,3
作者单位
摘要
1 西北大学 光子学与光子技术研究所, 西安7027
2 省部共建西部能源光子技术国家重点实验室, 西安71017
3 陕西省全固态激光及应用工程技术研究中心, 西安710127
激光清洗过程监控是准确去除金属锈蚀层、有效避免金属基体损伤的关键。利用图像处理技术研究了30 mm×30 mm较大面积Q235B钢板在不同光斑搭接率下的清洗次数与清洗度的变化规律,得到50%的最佳光斑搭接率。利用激光诱导等离子体光谱研究了0.47 mm×0.47 mm微小面积Q235B钢板的皮尔逊相关系数随清洗次数的变化趋势,得到了不同厚度锈蚀层下的最佳清洗次数。在此基础上,将图像处理法与LIPS分析法协同使用,利用LIPS分析法能够根据微小面积锈蚀层厚度不同而动态校正最小清洗次数的特点,弥补了图像处理法无法精确控制激光清洗过程的缺陷,99.1%的清洗度表明两种方法的协同使用可对Q235B钢板大面积激光清洗过程进行有效监控。
激光清洗 锈蚀层 激光诱导等离子体光谱 图像处理 过程监控 Laser cleaning Rust layer Laser-induced plasma spectroscopy Image processing Process control 
光子学报
2021, 50(7): 249
作者单位
摘要
1 华侨大学 机电及自动化学院,福建厦门3602
2 华侨大学 制造工程研究院,福建厦门36101
采用短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术加工金刚石微结构,研究短脉冲红外激光的光强、脉宽、重复频率、靶材与金刚石基片之间的距离等加工参数对金刚石的加工线宽、槽深以及加工效果的影响。当用脉冲宽度大于4 ns的激光作用在方向良好的单晶金刚石上时,光热作用明显,诱导产生金属等离子团的能量密度达到一定阈值且复合短脉冲激光能量作用下,单晶金刚石表层温度迅速上升至600°C以上,此时金刚石表层产生了刻蚀微结构;当用脉冲宽度小于4 ns的激光轰击靶材表面时,短脉冲激光轰击靶材诱导金属等离子团,可实现背面溅射相关金属靶材,当等离子体密度达到微刻蚀阈值时也可实现金刚石背部刻蚀以及石墨化。短脉冲红外激光的脉宽、重复频率决定了沉积/刻蚀加工效果。本文研究表明短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术是一种新型可靠的金刚石微结构加工工艺。
单晶金刚石 激光诱导等离子体 短脉冲红外激光 铜靶 石墨化 Single crystal diamond Laser induced plasma Short pulse infrared laser Copper target Graphitization 
光子学报
2021, 50(6): 129
任笑莹 1,2,3,4崔健磊 1,2,*陆洋 3,4梅雪松 1,2
作者单位
摘要
1 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710054
2 西安交通大学陕西省智能机器人重点实验室, 陕西 西安 710049
3 香港城市大学机械工程学院, 香港 999077
4 香港城市大学深圳研究院纳米制造实验室, 广东 深圳 518057
纳米连接技术是纳米元器件与微系统及宏观系统整合的关键技术之一。稳定的器件性能取决于可靠的纳米互连结构,评估纳米互连结构的力学性能及电学性能对于预测电子器件的失效模式至关重要。本文结合目前不同纳米连接技术及连接界面的特点,对不同材料从单纳米焊接接头到宏观互连结构的电/力学性能特征进行了总结与展望,通过对互连结构焊接及变形机制、焊接强度、疲劳特性及电学性能的探讨,展现了激光诱导等离子体自限性低温焊接在未来纳米器件及柔性电子器件制造中的巨大潜力。
光学制造 纳米连接 冷焊 激光诱导等离子体 电学性能 力学性能 
中国激光
2021, 48(8): 0802021

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