作者单位
摘要
1 中国科学技术大学 环境科学与光电技术学院,合肥 230026
2 中国科学院合肥物质科学研究院 安徽光学精密机械研究所 环境光学与技术重点实验室,合肥 230031
3 安徽大学 物质科学与信息技术研究院 信息材料与智能感知安徽省实验室,合肥 230039
在相机研制过程中,电路参数的每次调整都伴随着对相机输出满阱的测试,参数调整繁复,满阱测试的次数过多。为获得最佳的满阱输出性能,对电路各项参数进行精确匹配,提高满阱测试的效率,设计了一套自动化满阱性能测试平台。研究了影响电荷耦合器件满阱性能的因素,建立了光子转移曲线模型,提出了一种光子转移曲线快速取点法,并讨论了模型和方法在满阱测试中的应用。搭建了包括光源系统、成像电路、和温度采集系统在内的测试平台,并完成了自动化流程的软硬件设计。将该测试平台应用于在研相机的测试,验证了平台构造和测试方法的正确性,测量精度优于±1.6%,满足科学级相机的研制使用要求。
电荷耦合器件 光子转移曲线 电路参数匹配 满阱性能 自动测试平台 Charge coupled device Photo transfer curve Parameters matching Full-well capacity Test platform 
光子学报
2023, 52(11): 1111001
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所, 重庆 400060
激光退火是消除背照式电荷耦合器件(CCD)图像传感器背面势阱的重要工艺。文章研究了激光退火工艺中不同的激光波长、能量密度、光斑交叠率对掺杂杂质激活效率、器件表面形貌、成像质量及紫外量子效率的影响。研究结果表明, 在浅结注入的情况下, 355nm波长激光激活效率要优于532nm激光, 但是355nm激光比532nm激光更易在较低能量密度时使硅片出现龟裂现象。采用2J/cm2能量密度、50%~65%交叠率, 355nm激光能有效激活离子注入的硼离子, 背照式CCD图像传感器成像均匀性好, 紫外量子效率明显提升。
激光退火 电荷耦合器件 图像传感器 背照 laser annealing charge-coupled device image sensor backside-illuminated 
半导体光电
2023, 44(2): 241
黄港 1王祖军 1,2,*吕伟 2聂栩 1[ ... ]王忠明 2
作者单位
摘要
1 湘潭大学材料科学与工程学院,湖南 湘潭 411105
2 西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应全国重点实验室,陕西 西安 710024
为了评估电荷耦合器件(CCD)在空间科学探测以及航天卫星成像等空间辐射环境中应用的可靠性,揭示了CCD转换增益以及线性饱和输出等重要性能参数的退化机制及其实验规律。辐照实验在质子回旋加速器上进行,质子能量为60 MeV和100 MeV,质子注量分别为1×1010 cm-2、5×1010 cm-2和1×1011 cm-2。将CCD的主要性能参数在两个不同能量质子辐照后进行比较,实验结果表明,CCD的性能参数对质子辐照产生的电离损伤和位移损伤非常敏感,辐照后转换增益和线性饱和输出明显下降,且暗信号尖峰和暗电流明显增大。此外,分析了质子辐照CCD诱发的电离损伤和位移损伤,给出了CCD性能参数退化与质子辐照能量和注量的变化关系曲线。
光学器件 电荷耦合器件 质子辐照 转换增益 线性饱和输出 暗信号尖峰 
光学学报
2023, 43(11): 1123001
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所, 重庆 400060
帧转移电荷耦合器件(FTCCD)主要应用于可见光信号探测,其在强光应用场合容易出现光晕现象。针对该问题,研制了帧转移纵向抗晕CCD图像传感器, 该器件阵列规模为1024×1024元, 像素尺寸为12μm×12μm。为了实现纵向抗晕功能, 采用了n型埋沟-鞍形p阱-n型衬底结构, 纵向抗晕倍数为200倍, 器件满阱电子数为大于等于200ke-, 读出噪声小于等于80e-, 动态范围大于等于2000∶1。
纵向抗晕 帧转移 电荷耦合器件 图像传感器 vertical antiblooming frame transfer CCD image sensor 
半导体光电
2023, 44(1): 14
作者单位
摘要
1 北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院,北京 100192
2 光电信息控制和安全技术重点实验室,天津 300308
针对在外场实现探测器损伤状态实时探测的需求,研发了光电探测器表面损伤状态偏振成像式探测系统。理论推导了“猫眼”目标回波偏振特性参数DP和回波偏振度DOP的表达式,利用MATLAB软件仿真绘制了表面粗糙度、回波偏振度以及偏振特性的关系曲线;设计了一套同时偏振成像光学系统,开展了671 nm连续激光对电荷耦合器件(CCD)表面损伤状态的实时探测外场实验,编制了基于MATLAB GUI的回波图像可视化实时采集系统,得到了回波图像强度、偏振特性以及光斑尺寸等信息;通过光学显微镜和白光干涉仪对探测器表面损伤处和未损伤处形貌图像分析,发现探测器损伤表面可见硅基底且粗糙度参数Sq值较大;结果表明,仿真结果与实验测试结果具有良好一致性。光电探测器被损伤后,其表面粗糙度增大,回波偏振特性参数DP减小,退偏特性明显,偏振度DOP减小。偏振成像技术可有效对光电探测器表面损伤状态进行实时探测,该研究提供了一种外场条件下实时探测的好方法。
偏振成像 损伤探测 偏振特性 电荷耦合器件 粗糙度 polarization imaging damage detection polarization characteristics CCD roughness 
红外与激光工程
2022, 51(6): 20210629
杨智康 1,2,*文林 1周东 1李豫东 1[ ... ]郭旗 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院新疆理化技术研究所, 新疆乌鲁木齐 830011
2 中国科学院大学, 北京 100049
电荷耦合器件(CCD)是用于空间光电系统可见光成像的图像传感器, 在空间应用环境下受辐射效应作用导致 CCD性能退化甚至失效。对于 CCD空间辐射效应的地面模拟试验研究, 辐照试验中 CCD采用合适的偏置条件是分析其空间辐射损伤的必要措施。由于 CCD对质子辐照导致的电离总剂量效应和位移损伤效应均非常敏感, 因此针对 CCD空间应用面临的电离总剂量效应和位移损伤效应威胁, 开展不同辐照偏置下 CCD的辐射效应及损伤机理研究。针对一款国产埋沟 CCD器件, 开展不同偏置条件下的 γ射线和质子辐照试验, 获得了 CCD的暗电流、光谱响应等辐射敏感参数的电离总剂量效应, 位移损伤效应退化规律以及辐照偏置对 CCD辐射效应的影响机制。研究表明, γ射线辐照下 CCD的偏置产生重要影响, 质子辐照下没有明显的偏置效应。根据 CCD结构和辐照后的退火试验结果, 对 CCD的辐射效应损伤机理进行分析。
电荷耦合器件 电离总剂量效应 位移损伤效应 偏置条件 Charge-Coupled Devices total ionizing dose effect displacement damage effect bias conditions 
太赫兹科学与电子信息学报
2022, 20(9): 915
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所, 重庆 400060
从电荷耦合器件(CCD)的满阱电荷容量和片上放大器的工作电压范围两个方面对器件的节点电荷容量进行了设计, 并推导出输出节点电荷容量设计的优化公式。从公式中可以看出, 输出节点的电荷容量设计除了需要满足CCD信号电荷转移本身所需的容量值以外, 还必须保证节点处的电压变化范围在输出放大器线性工作区域内, 才能使信号电荷能够完整线性地被放大器输出, 从而保证CCD器件整体的非线性和满阱容量性能。因此, 输出节点电荷容量的设计除了需要考虑节点自身的电容外, 还应综合考虑输出放大器相关MOS管的宽长比、阈值电压、工作电压等因素。
电荷耦合器件 输出节点 电荷容量 CCD charge handling capacity sense node 
半导体光电
2022, 43(4): 777
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所,重庆400060
设计了大尺寸输出节点和大尺寸放大器栅电容的CCD特殊输出结构,使输出节点总电容约为4.5×10-13 F,对设计结构进行了工艺试验。对输出节点电容进行参数校准、结构优化、流片试验、测试验证。试验结果表明,优化设计后的CCD电压转换因子精确地达到了0.352 μV/e-,满足了航天系统紫外线阵CCD满阱容量需达到1.0×107 e-/pixel量级,饱和输出幅度在3.5~4 V范围,CCD的电压转换因子在0.35 μV/e-亚微伏水平(比传统CCD低1~2个数量级)的特殊输出结构要求。
电荷耦合器件 电荷转换因子 输出节点电容 亚微伏结构 charge-coupled device (CCD) Charge to Voltage Factor (CVF) output node capacitor sub-micron-volt structure 
光电子技术
2022, 42(1): 28
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所, 重庆 400060
设计并研制了一种四谱段时间延迟积分电荷耦合器件(TDICCD)图像传感器,器件将四个TDICCD集成在同一芯片上,通过在光窗对应位置上镀不同的窄带滤光膜实现多谱段分光。该TDICCD图像传感器的像元尺寸为28μm×28μm,水平寄存器的有效像元数为3072元,行频为10kHz,电荷转移效率高达0.99999,饱和输出电压为2650mV,抗弥散能力大于等于100倍,动态范围为7143∶1。
时间延迟积分 四谱段 电荷耦合器件 图像传感器 time delay integration four spectral CCD image sensor 
半导体光电
2022, 43(3): 547
常振 1,2王煜 2,*林方 1赵欣 1[ ... ]司福祺 1
作者单位
摘要
1 中国科学院 合肥物质科学研究院 安徽光学精密机械研究所 环境光学与技术重点实验室,安徽合肥23003
2 安徽大学 物质科学与信息技术研究院 信息材料与智能感知安徽省实验室, 安徽合肥30039
在CCD成像电路的研发过程中,为了确保CCD达到最优的满阱性能,需要不断调整CCD驱动信号参数并进行满阱测试,该过程通常需要重复几十甚至上百次。通用的光子转移曲线法需要积分球等设备搭建平场光源,系统复杂,满阱测试效率较低。提出了一种满阱测试方法——LED点测试法,该方法通过光子转移曲线法获取系统增益后,仅通过搭建LED点光源配合普通民品镜头即可实现CCD满阱测试。基于载荷CCD成像电路,使用LED点测试法进行测试。结果表明,载荷CCD的满阱电子数可达817.013ke-,误差不大于0.643%。针对LED点测试的同组数据采用传统满阱测试方法进行测试,对比结果表明,LED点测试法和传统测试方法相对光子转移曲线法的误差分别为0.039 7%和1.9%。LED点测试法可用作简易条件下快速测量CCD满阱的通用方法,能够提升CCD成像电路的研发效率。
电荷耦合器件 满阱容量 光子转移曲线 LED点测试法 数据拟合 charge-coupled device(CCD) full well capacity photon transfer curve LED-point test method data fitting 
光学 精密工程
2022, 30(13): 1542

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